本发明提供一种超声波振动加热干燥装置，其可以保持振动板部整体的温度均匀，并可以抑制基板上的涂布膜形成干燥不匀。该超声波振动加热干燥装置具有：振动板部，其使基板超声波振动悬浮；加热器部，其对振动板部进行加热；支撑部件，其穿过支撑贯穿孔来支...

本发明提供干燥装置，其能够与多个配置图案对应地自动进行支撑销的配置更换，并且在基板的产品形成区域不产生干燥不均。本发明的干燥装置具备：腔室(11)，其容纳基板；和支撑部(13)，其利用多个支撑销(15)来支撑基板，支撑部具有：多个轴(1...

本发明提供透明导电膜的形成方法和薄膜加热干燥装置，提供一种在利用PEDOT/PSS形成透明导电膜时能够提高导电性的透明导电膜的形成方法和透明导电膜(薄膜)干燥装置。所述透明导电膜的形成方法为：通过将使作为溶剂的水中含有包含聚乙撑二氧噻吩...

本发明提供一种线路板的制造方法及使用于该方法的喷墨涂布装置，在该制造方法中，准备沿着X轴方向形成有隔开间隔配置且通过连接部（15）相连的多个第一电极（10）、以及沿与X轴方向交叉的Y轴方向形成有夹着连接部而隔开间隔配置的多个第二电极（2...

即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有：容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)...

本发明提供一种基板浮起装置，该基板浮起装置能够始终使基板以一定的浮起高度浮起。基板浮起装置(1)具有：浮起板(10)，其具有多个喷出口(11)和抽吸口(12)；正压供给源(20)，其对喷出口(11)供给气体；正压配管(21)，其连接喷出...

本发明提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描...

提供能够高精度地向涂布对象的排列发生歪曲的基板喷出液滴的涂布装置以及涂布方法。具体而言，在涂布装置(1)中，在基板保持部(7)保持住基板(W)的状态下，进行使涂布单元(21)和基板保持部(7)沿特定的扫描方向进行相对移动，同时使涂布单元...

本发明提供一种涂布器以及涂布装置，能够迅速排出涂布器(3)的上侧歧管(11)和下侧歧管(12)内的空气。所述涂布器包括：流入口(18)，用于流入涂布液；排出细缝(21)，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方...

提供标记装置及方法，即使是被连续地输送的标记对象物(10)也能够在无偏移的状态下连续地标记规定的描绘图案，能够提高生产性，为此，在对标记对象物(10)标记描绘图案的标记装置(1)中，其特征在于，所述标记装置(1)具备：输送部(2)，其沿...

本发明提供一种膜，该膜通过为低应力且水分吸收少的密封膜结构，从而在经时变化中不会发生剥离，具有稳定的阻隔性。具体地说，提供一种含硅膜，该含硅膜具备：通过等离子体CVD法形成的包含硅元素且氧浓度为0元素％以上且小于10元素％的第1化学沉积...

本发明的目的在于提供在有机物与无机物混杂的基材中对其两种物质的密合性高、且阻隔性高的气体阻隔膜的膜结构和制造方法。具体地说，提供一种化学沉积膜，其包含硅原子、氧原子、碳原子和氢原子，该氧原子的浓度为10元素％～35元素％，该化学沉积膜是...

本发明提供一种自动外观检查装置，其能够不受摄像机的处理能力的制约而缩短检查时间。具体而言，该自动外观检查装置的特征在于，具有：载台部、扫描台部、闪光灯照明部、镜筒部、摄像部、以及检查部，所述检查部根据预先登记的检查条件，判断所摄像的检查...

提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基...

本发明提供一种基板浮起装置和基板浮起量测量方法，能够将基板的浮起量始终准确地计算和控制。基板浮起装置（1）使基板浮起，该装置包括浮起单元（2）和解析装置（21），该浮起单元包括与浮起的基板（W）背面相对而置的对向面（14），且将基板浮起...

本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部...

本发明提供能够强有力地去除粘着在唇上的粘着物且价格低廉的洗涤装置和洗涤方法。该洗涤装置(4)包括：洗涤单元(5)；洗涤液供给口(14)，其供给用于洗涤唇面(23)的洗涤液，通过移动装置(6)使洗涤单元和洗涤液供给口向唇面的长尺寸方向移动...

为了使被检查对象物的形状物在外观检查装置的平台上的平台坐标和形状物地址相关联而保持，在利用外观检查装置的低倍率透镜进行的预扫描工序中，利用所得到的摄像图像，与平台坐标相关联地赋予形状物地址，在实际检查工序中，利用形状物地址削减被检查对象...

本发明提供一种涂布装置，即使碰撞对象物混过保护部件也能够防止管头部的狭缝喷嘴受损，该装置包括：平台，用于载置基板；涂布单元，相对于在所述平台上载置的基板相对移动的同时从狭缝喷嘴排出涂布液而在基板上形成涂布膜；保护单元，与所述狭缝喷嘴相比...

本发明提供涂布方法和涂布装置，对形成有多个凹部的具有可挠性的基体材料能够用更少的工时且简单的构成定位，并通过喷墨方式向各凹部涂布油墨。具体而言，长尺寸方向上受张力并以规定高度（HR）被保持的同时被定位在短尺寸方向（Y）的基体材料（F）以...