一种微型原子气室封装设备及工艺技术方法，包括：样品室、压力杆、样片、样品台、加热丝与测温探头、真空泵连接口、充气进口、直流高压电源、电压表、电阻和其它测控装置，包括步骤１材料的选取，步骤２材料的加工，步骤３样片的清洗，步骤４第一面键合，...

本发明涉及微加工技术，特别地，涉及生物微机电系统。本发明提供了一种分体式微机电系统及其制备方法。所述分体式微机电系统包括结构上彼此独立的聚合物微流控芯片和功能基底。其中，功能基底是由高精度硅基微机电系统加工技术实现，结构稳定，性能可靠，...

本发明公开了一种衬底上基片的微细加工方法，该方法包括：使用聚合物作为中间黏附层，通过压力键合的方法，将衬底与基片键合在一起，形成衬底上基片；对基片减薄，并深刻蚀形成通孔；对通孔进行回填，再次对基片进行深刻蚀形成电镀孔；在电镀孔内电镀金属...

本发明公开了一种钛可动器件的制作方法，利用等离子体刻蚀技术在钛基片上形成刻蚀深槽并进行填充，然后将其与另一衬底基片相键合，再从钛基片背面进行化学腐蚀和化学机械抛光减薄直至露出刻蚀深槽，去除刻蚀深槽中的填充材料，释放可动结构，从而加工出具...

本发明涉及一种预测微结构力学特性的方法，其包括以下步骤：（１）制作出一系列版图尺寸不同的检测结构；（２）根据实验得到的这些检测结构的力学特性；（３）由检测结构的版图尺寸和力学特性，反算出修正参数；（４）根据所设计的ＭＥＭＳ结构的版图尺寸...

本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法，它包括如下步骤：对盖帽玻璃片进行打孔，但不打通；在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨（或铬）和金，并进行光刻和腐蚀，形成掩膜；用氢氟酸腐蚀玻璃腔体，同时将未穿通的引线孔腐蚀通；在玻...

本发明提供了一种可广泛应用的ＭＥＭＳ器件的气密性封装方法，该方法是一种基于中间层的键合技术，配合涂敷金属等气密性材料来实现气密性封装。所用的中间层材料是光刻胶等具有黏附性的有机物质，在低温低压的情况下就能实现较大的键合强度，并且产生的内...

本发明公开了一种制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，该方法包括：制备一对或一对以上电极，电极的阴极和阳极交错分布；将含有碳纳米管的有机溶液覆盖在上述电极之上；在电极上施加交流电或直流电后，碳纳米管垂直于上述电极边沿平行排布；待有机溶液蒸发后，...

本发明提供了一种利用低温共烧陶瓷基板对ＭＥＭＳ器件进行真空封装的方法：首先利用低温共烧陶瓷的多层电路结构、三维布线把电路中应用的各种无源元器件和传输线等完全掩埋在基板介质中；然后把ＭＥＭＳ器件粘接或焊接在基板上，并完成电气连接；最后将带...

本发明公开了一种ＭＥＭＳ密封封装方法，该方法包括：在玻璃片或者硅片上腐蚀出与ＭＥＭＳ器件相匹配的底部开口的微封盖结构，在该微封盖墙体的底端腐蚀出一凹槽；ＭＥＭＳ器件及其电极制备在一衬底上，在上述ＭＥＭＳ器件周围衬底的键合密封区域制备一隔...

本发明涉及一种高深宽比氧化硅刻蚀工艺，其采用电感耦合等离子刻蚀系统，且反应气体包括Ｃ↓［４］Ｆ↓［８］、Ｈ↓［２］及Ｈｅ，并采用以下工艺参数：离子源功率为１０００－１８００Ｗ；承片台功率为３００－４００Ｗ；反应室压力为４－１２ｍＴ；Ｃ↓...

本发明提供一种ＭＥＭＳ力学微探针及其制备方法，属于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）加工技术领域。该探针包括探针体、衬底和若干个固定锚点，探针体包括：Ｔ型探针头、弹性梁、两个梳齿电容及标尺结构，Ｔ型探针头通过与固定锚点连接的弹性梁悬浮于衬底之上...

本发明涉及一种模块化机器鱼，其特征在于：它包括单独密封且模块化设置的鱼头模块，左、右胸鳍模块，至少两个驱动模块和尾鳍；所述鱼头模块内设置有控制装置和带动所述左、右胸鳍模块做沉浮运动的主电机，所述左、右胸鳍模块的主轴通过动密封机构连接所述...

本发明涉及一种智能机器海豚，其特征在于：它包括刚性海豚头，设置在所述海豚头内部的铝制骨架，设置在所述铝制骨架上的电源装置、控制装置、传感装置和配重块；由转弯机构、背腹式推进机构和弹性软体组成的弹性海豚体，以及由鳍肢机构、背鳍机构和尾鳍组...

本发明涉及一种机器海豚可调摆幅的正弦推进机构，其特征在于：它包括一机架，机架上通过主电机和调幅电机连接一主轴和一丝杠，一具有环形槽的滑套设置在主轴上，主轴输出端连接一转换盒，一拨叉螺接在丝杠，拨叉的两伸出端插设在滑套的环形槽内；转换盒内...

本发明涉及一种具有两级自由度鳍肢机构的仿生机器海龟，其特征在于：它包括主舱体模块，摆动连接在所述主舱体模块周向的四个鳍肢驱动模块，每个所述鳍肢驱动模块上转动连接一翼形鳍肢片，所述摆动和转动连接部位采用动密封机构。本发明在主舱体模块采用由...

本发明涉及一种模块化机器海豚鳍肢驱动机构，其特征在于：它包括主电机模块、辅电机模块和支架；主电机模块包括一主电机壳体，其上、下分别密封连接一顶盖和一底盖，顶盖上连接一压盖，一主电机设置在主电机壳体内，主电机的输出轴通过动密封装置穿设在顶...

本发明涉及一种小型仿生机器鱼，它包括刚性鱼头，与鱼头连接的弹性鱼体，包括左、右胸鳍和新月形尾鳍在内的仿鳍机构和设置鱼头内铝制骨架上的电源装置、控制装置和配重块，其特征在于：在鱼头内还设置了一套视觉装置，视觉装置包括设置在鱼头前部的托架，...

本发明涉及一种主被动运动结合的弹性机械腿，它包括：一髋壳，一驱动装置；一齿轮轴、一曲柄轴和一摇杆轴；一轴承，设置在齿轮轴的两端；一膝关节，其与大腿的下部连接；膝外壳内设置有一电磁铁；一膝关节底座，其外侧设有一连接大腿弹簧的拉杆；髋关节与...

本发明涉及一种基于被动运动方式的双足类人机器人，其特征在于：它包括仿生弹性机械腿，传动躯干和机械手臂；两条机械腿的髋壳一前一后各具有一凸臂，两凸臂的伸出段分别固定连接两上肢驱动轴的一端，上肢驱动轴的另一端固定连接一连杆的一端，连杆的另一...