【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种碳化硅肖特基结型核电池的制造方法,包括如下步骤:(1)在掺杂浓度为1×1018~7×1018cm‑3的高掺杂n型SiC衬底上,外延生长厚度为3um~5um,掺氮浓度为1×1015~5×1015cm‑3的初始n型SiC外延层;(2)在初始n型SiC外延层上再进行注入能量为2000KeV~2500KeV,注入剂量为5×1013~1×1015cm‑2的铌离子注入,然后在1450℃~1650℃的高温下热退火20~40分钟,进而得到掺杂浓度为1×1013~5×1014cm‑3的n型SiC外延层;(3)对掺杂浓度为1×1013~5×1014cm‑3的n型SiC外延层进行干氧氧化,形成SiO2钝化层;(4)用反应离子刻蚀法在n型SiC衬底的背面刻蚀SiC层,电子束蒸发Ni/Cr/Au金属层,在1100±50℃温度下,氮气气氛中退火形成欧姆接触电极;(5)在SiO2钝化层的中间利用湿法腐蚀出肖特基接触窗口,并且在该窗口上和窗口周边的SiO2钝化层上淀积半透明高势垒肖特基金属Ni或Pt或Au,剥离分别形成肖特基金属接触层和肖特基接触电极;(6)在肖特基接触电极上用电子束蒸发Cr/Au形成键合层;(7 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:梅欣,
申请(专利权)人:溧阳市浙大产学研服务中心有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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