用于洗涤器的燃烧器制造技术

本发明专利技术公开了一种用于洗涤器的燃烧器，所述用于洗涤器的燃烧器包括：外壳，所述外壳包含燃烧区域，废气进入所述燃烧区域中，所述燃烧区域具有内部中心区域和敞开的下部，所述外壳包含混合区域，所述混合区域用于混合进入该混合区域的氧化剂和燃料，所述混合区域沿所述燃烧区域的外侧设置且所述混合区域形成为环形；以及金属套筒，所述金属套筒设置在所述燃烧区域和所述混合区域之间，且所述金属套筒装备有孔洞，所述孔洞用于将在所述混合区域中混合的所述氧化剂和所述燃料供应至所述燃烧区域。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种用于洗涤器的燃烧器，所述用于洗涤器的燃烧器包括：外壳，所述外壳包含燃烧区域，废气进入所述燃烧区域中，所述燃烧区域具有内部中心区域和敞开的下部，所述外壳包含混合区域，所述混合区域用于混合进入该混合区域的氧化剂和燃料，所述混合区域沿所述燃烧区域的外侧设置且所述混合区域形成为环形；以及金属套筒，所述金属套筒设置在所述燃烧区域和所述混合区域之间，且所述金属套筒装备有孔洞，所述孔洞用于将在所述混合区域中混合的所述氧化剂和所述燃料供应至所述燃烧区域。【专利说明】用于洗涤器的燃烧器相关申请的交叉引用本申请要求于2012年10月15日递交的韩国专利申请第2012-0114013号的优先权及其权益，该韩国专利申请第2012-0114013号的公开内容通过引用整体并入本文。
本专利技术涉及一种用于洗涤器的燃烧器，所述用于洗涤器的燃烧器用于处理在制造电子装置的过程中生成的废气。
技术介绍
通常，用于制造电子装置/元件(诸如显示装置、太阳能电池、发光二极管等)的化学制品具有毒性、腐蚀性和爆炸性。此外，在制造过程中产生的酸性湿气和灰尘大量地包含在废气中。特别是大量用于半导体蚀刻过程和化学淀积过程中的NF3和PFCs是促进全球变暖的气体和高毒性气体。通过以热等离子体方式、燃烧氧化方式或化学吸附方式运转的洗涤器处理NF3气体和PFCs气体最广泛利用燃烧氧化方式处理NF3气体。在传统的燃烧氧化方式中，通过由纯氧气和液化天然气(LNG)形成的高温纯氧气火焰加热和分解废气。根据纯氧气的燃烧特征，通过高温火焰分解包含在废气中的氮气以额外地产生大量的氮氧化物(NOx)。最近，已经加强了对于包含在废物中的氮氧化物的废物标准，以便快速加强减少氮氧化物的需要。除此之外，传统的纯氧气的燃烧氧化方式对于通过高温加热降低燃烧器和部件的耐用性上是不利的，因此需要频繁地维护，且由于使用比空气相对更贵的氧气而需要过多的运转成本。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种用于洗涤器(scrubber)的燃烧器，所述用于洗涤器的燃烧器可以减少氮氧化物和一氧化碳的生成，且可以减少维护成本和运转成本。为了实现上述目的，本专利技术的用于洗涤器的燃烧器包括:外壳，所述外壳包含燃烧区域，废气进入所述燃烧区域中，所述燃烧区域具有内部中心区域和敞开的下部，所述外壳包含混合区域，所述混合区域用于混合进入该混合区域的氧化剂和燃料，所述混合区域沿所述燃烧区域的外侧设置且所述混合区域形成为环形；以及金属套筒，所述金属套筒设置在所述燃烧区域和所述混合区域之间，且所述金属套筒装备有孔洞，所述孔洞用于将在所述混合区域中混合的所述氧化剂和所述燃料供应至所述燃烧区域。此外，所述外壳可以进一步包括:环形的氧化剂预加热区域，所述氧化剂预加热区域形成在所述混合区域的外侧，用于接收从外侧进入该氧化剂预加热区域的所述氧化剂；氧化剂进入通道，所述氧化剂进入通道从所述氧化剂预加热区域延伸至所述外壳的外侧；以及氧化剂进入管。所述氧化剂进入管联接至所述氧化剂预加热区域。进一步地，所述外壳可以进一步包括:废气进入通道，所述废气进入通道从所述燃烧区域延伸至所述外壳的外侧；燃料进入通道，所述燃料进入通道从所述混合区域延伸至所述外壳的外侧；氧化剂供应通道，所述氧化剂供应通道从所述混合区域延伸至所述氧化剂预加热区域；氧化剂供应管，所述氧化剂供应管联接至所述氧化剂供应通道；废气进入管，所述废气进入管联接至所述废气进入通道；燃料进入管，所述燃料进入管联接至所述燃料进入通道；以及氧化剂供应管，所述氧化剂供应管联接至所述氧化剂供应通道。此外，所述燃料进入管被形成为使得燃料以向下的方向从所述混合区域的上表面进入，且所述氧化剂供应管被形成为使得所述氧化剂供应管的中心轴在所述混合区域的上侧处垂直于所述燃料进入管的中心轴，且使得所述氧化剂供应管的中心轴可以平行于所述混合区域的切线。此外，所述混合区域具有大于所述燃烧区域的高度的高度，并具有形成在中部和下部的连接区域，以允许所述混合区域通过所述连接区域连接至所述燃烧区域；且从所述氧化剂供应管供应的所述氧化剂可以在所述混合区域的上部与燃料碰撞(collide)。所述氧化剂供应管可以被形成为使得在所述供应的氧化剂的流量(Va)和从所述燃料进入管供应的燃料的流量之间的比例(VA: VJ是I?5:1。此外，所述氧化剂供应管的截面积(Aa)和所述燃料进入管的截面积(\)之间的比例(Aa: Al)可以是I?15: 10进一步地，所述金属套筒形成为圆柱形，且所述金属套筒可以包括装备有小孔的金属筛网和筛网固定框架，所述筛网固定框架用于在所述金属筛网的外表面上支持所述金属筛网。此外，所述金属套筒可被联接以使所述混合区域和所述燃烧区域在所述连接区中彼此分尚。此外，用于洗涤器的燃烧器可以进一步包括套筒固定环，所述套筒固定环联接至所述燃烧区域的下部以将所述金属套筒固定至所述外壳。【专利附图】【附图说明】通过参照附图，详细描述本专利技术的示例性实施方式，本专利技术的上述以及其他目的、特征和优点将对本领域技术人员来说变得更清楚，其中:图1是根据本专利技术一个实施方式的用于洗涤器的燃烧器的立体图；图2是沿图1中的线A-A截取的截面图；图3是沿图1中的线B-B截取的截面图；图4是沿图1中的线C-C截取的截面图；图5是安装至图1中示出的用于洗涤器的燃烧器的金属套筒(cartridge)的立体图；以及图6是洗涤器的局部截面图，根据本专利技术一个实施方式的燃烧器安装至该洗涤器。【具体实施方式】下文中，将参照附图更加详细地描述根据本专利技术优选实施方式的用于洗涤器的燃首先，例示了根据本专利技术优选实施方式的用于洗涤器的燃烧器。图1是根据本专利技术的一个实施方式的用于洗涤器的燃烧器的立体图，图2是沿图1中的线A-A截取的截面图，图3是沿图1中的线B-B截取的截面图，图4是沿图1中的线C-C截取的截面图，且图5是安装至图1中示出的用于洗涤器的燃烧器的金属筒的立体图。参照图1至图5，根据本专利技术一个实施方式的用于洗涤器的燃烧器1000包括外壳100、废气进入管200、燃料进入管300、氧化剂供应管400、氧化剂进入管500和金属套筒600。此外，用于洗涤器的燃烧器1000可以进一步包括冷却水进入管700和套筒固定环800。用于洗涤器的燃烧器1000利用氧气混合气体作为氧化剂，该氧气混合气体包含确定比率的氧气。在该氧化剂中，氧气含量是体积百分比10 %至60 %。如果氧气含量过多，则氧化剂的加热温度变高，从而可以增加氮氧化物的产量。相反，如果氧气含量极低，则氧化剂的加热温度变低，从而可以降低废气的处理效率。例如，利用空气或压缩空气作为氧化齐U。用于洗涤器的燃烧器100还可以使用LNG作为燃料。此外，用于洗涤器的燃烧器100在低于1，300°C (氮氧化物在1，300°C下产生)的温度通过表面燃烧方法处理废气，从而降低氮氧化物的产量。外壳100包括燃烧区域110、混合区域120、氧化剂预加热区域130和冷却水区域140。此外，外壳100包括废气进入通道112、燃料进入通道122、氧化剂供应通道132、氧化剂进入通道134和冷却水进入通道142。外壳100起到用于洗涤器的燃烧器1000的主体的作用，且外壳100具有近似圆柱形。除本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于洗涤器的燃烧器，包括：外壳，所述外壳包含燃烧区域，废气进入所述燃烧区域中，所述燃烧区域具有内部中心区域和敞开的下部；所述外壳包含混合区域，所述混合区域用于混合进入该混合区域的氧化剂和燃料，所述混合区域沿所述燃烧区域的外侧设置且所述混合区域形成为环形；以及金属套筒，所述金属套筒设置在所述燃烧区域和所述混合区域之间，且所述金属套筒装备有孔洞，所述孔洞用于将在所述混合区域中混合的所述氧化剂和所述燃料供应至所述燃烧区域。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金滢克，
申请(专利权)人：CSK公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR