【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种石英坩埚涂层加温装置,具体是一种八工位石英坩埚烘箱;现有坩埚清洗完后需要进行烘干加温给坩埚涂层,坩埚的温度是否均匀直接影响涂层的效果,所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓组成,每个工作仓设有进出小车,小车滑轮,小车轨道,轨道支架、加热板,集气罩,排气管,电热偶,保温层;进出小车的底部设有小车滑轮,小车滑轮在小车轨道上滑动,小车轨道固定在轨道支架上,轨道支架的下部中间设置加热板,通过加热板对工作仓加温,集气罩设置在工作仓的右上角,排气管和集气罩连接,集气罩内部的气体通过排气管排出,电热偶设置在箱体内侧的保温层内。【专利说明】一种八工位石英坩埚烘箱
本技术涉及一种石英坩埚涂层加温装置,具体是一种八工位石英坩埚烘箱。
技术介绍
目前,现有坩埚清洗完后需要进行烘干加温给坩埚涂层,坩埚的温度是否均匀直接影响涂层的效果,现有烘箱是多个坩埚放在一个大烘箱内,需长时间加热才能达到效果,取坩埚时由于窗口太大很容易把热量流失,同时,还需要操作工把手伸进去才能把坩埚抱出,既浪费了热能又给操作人员带来了烘热的痛苦,这样大大降低了生产效率。
技术实现思路
为解决上述问题,本技术设计了一种既节能又操作方便的八工位石英坩埚烘箱,它的技术方案是:所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓组成,每个工作仓由进出小车、小车滑轮、小车轨道、轨道支架、加热板、集气罩、排气管、电热偶、保温层组成,进出小车的底部设有小车滑轮,小车滑轮在小车轨道上滑动,小车轨道固定在轨道支架上,轨道支架的下部中间设置加热板,通过加热板对工作仓加温,集气罩设置在工作仓 ...
【技术保护点】
一种八工位石英坩埚烘箱,其特征在于:它由八个单独封闭工作仓(1)组成,每个工作仓(1)由进出小车(2)、小车滑轮(3)、小车轨道(4)、轨道支架(5)、加热板(6)、集气罩(7)、排气管(8)、电热偶(9)、保温层(10)组成;进出小车(2)的底部设有小车滑轮(3),小车滑轮(3)在小车轨道(4)上滑动,小车轨道(4)固定在轨道支架(5)上,轨道支架(5)的下部中间设置加热板(6),集气罩(7)设置在工作仓(1)的右上角,排气管(8)和集气罩(7)连接,电热偶(9)设置在箱体内侧的保温层(10)内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:宋祯臣,王亢,刘勇,李栋,
申请(专利权)人:济宁祥润光伏科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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