一种八工位石英坩埚烘箱制造技术

技术编号:9920930 阅读:153 留言:0更新日期:2014-04-14 08:56
本实用新型专利技术涉及一种石英坩埚涂层加温装置,具体是一种八工位石英坩埚烘箱;现有坩埚清洗完后需要进行烘干加温给坩埚涂层,坩埚的温度是否均匀直接影响涂层的效果,所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓组成,每个工作仓设有进出小车,小车滑轮,小车轨道,轨道支架、加热板,集气罩,排气管,电热偶,保温层;进出小车的底部设有小车滑轮,小车滑轮在小车轨道上滑动,小车轨道固定在轨道支架上,轨道支架的下部中间设置加热板,通过加热板对工作仓加温,集气罩设置在工作仓的右上角,排气管和集气罩连接,集气罩内部的气体通过排气管排出,电热偶设置在箱体内侧的保温层内。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种石英坩埚涂层加温装置,具体是一种八工位石英坩埚烘箱;现有坩埚清洗完后需要进行烘干加温给坩埚涂层,坩埚的温度是否均匀直接影响涂层的效果,所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓组成,每个工作仓设有进出小车,小车滑轮,小车轨道,轨道支架、加热板,集气罩,排气管,电热偶,保温层;进出小车的底部设有小车滑轮,小车滑轮在小车轨道上滑动,小车轨道固定在轨道支架上,轨道支架的下部中间设置加热板,通过加热板对工作仓加温,集气罩设置在工作仓的右上角,排气管和集气罩连接,集气罩内部的气体通过排气管排出,电热偶设置在箱体内侧的保温层内。【专利说明】一种八工位石英坩埚烘箱
本技术涉及一种石英坩埚涂层加温装置,具体是一种八工位石英坩埚烘箱。
技术介绍
目前,现有坩埚清洗完后需要进行烘干加温给坩埚涂层,坩埚的温度是否均匀直接影响涂层的效果,现有烘箱是多个坩埚放在一个大烘箱内,需长时间加热才能达到效果,取坩埚时由于窗口太大很容易把热量流失,同时,还需要操作工把手伸进去才能把坩埚抱出,既浪费了热能又给操作人员带来了烘热的痛苦,这样大大降低了生产效率。
技术实现思路
为解决上述问题,本技术设计了一种既节能又操作方便的八工位石英坩埚烘箱,它的技术方案是:所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓组成,每个工作仓由进出小车、小车滑轮、小车轨道、轨道支架、加热板、集气罩、排气管、电热偶、保温层组成,进出小车的底部设有小车滑轮,小车滑轮在小车轨道上滑动,小车轨道固定在轨道支架上,轨道支架的下部中间设置加热板,通过加热板对工作仓加温,集气罩设置在工作仓的右上角,排气管和集气罩连接,集气罩内部的气体通过排气管排出,电热偶设置在箱体内侧的保温层内;将坩埚从一至八工位(工作仓)装完,关门封闭后加热板对其加热,加热后将坩埚取出交到下一个涂层工序,再装入新的需要烘干加温的坩埚,依次连续工作。我们研发的新型八工位烘箱操作方便,取出坩埚时可以像拉抽屉一样直接把坩埚取出,避免了把胳膊伸入里面抱坩埚易烫伤的危险。【专利附图】【附图说明】:图1是一种八工位石英坩埚烘箱主体结构示意图;图2是一种八工位石英坩埚烘箱任意一个工作仓结构示意图;【具体实施方式】参照附图1、附图2对本技术做进一步的描述,以便公众更好地掌握本技术的实施方法。所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓I组成,每个工作仓I由进出小车2、小车滑轮3、小车轨道4、轨道支架5、加热板6、集气罩7、排气管8、电热偶9、保温层10组成;进出小车2的底部设有小车滑轮3,小车滑轮3在小车轨道4上滑动,小车轨道4固定在轨道支架5上,轨道支架5的下部中间设置加热板6,通过加热板6对工作仓I内部加温,集气罩7设置在工作仓I的右上角,排气管8和集气罩7连接,集气罩7内部的气体通过排气管8排出,电热偶9设置在箱体内侧的保温层10内;将坩埚从一至八工位(工作仓)装完,关门封闭后加热板6对其加热,加热后将坩埚取出交到下一个涂层工序,再装入新的需要烘干加温的坩埚,依次连续工作。现有的烘箱20多分钟才能达到所需温度,我们研发的新型八工位烘箱占用空间小,独立式加温快,不到2分钟就可以完成一只坩埚的加热,降低了电量,节约了资源,因此,具有广阔市场前景。【权利要求】1.一种八工位石英坩埚烘箱,其特征在于:它由八个单独封闭工作仓(I)组成,每个工作仓(I)由进出小车(2)、小车滑轮(3)、小车轨道(4)、轨道支架(5)、加热板(6)、集气罩(7)、排气管(8)、电热偶(9)、保温层(10)组成;进出小车(2)的底部设有小车滑轮(3),小车滑轮(3)在小车轨道(4)上滑动,小车轨道(4)固定在轨道支架(5)上,轨道支架(5)的下部中间设置加热板(6),集气罩(7)设置在工作仓(I)的右上角,排气管(8)和集气罩(7)连接,电热偶(9)设置在箱体内侧的保温层(10)内。【文档编号】F26B25/00GK203534099SQ201320477986【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年8月3日 优先权日:2013年8月3日 【专利技术者】宋祯臣, 王亢, 刘勇, 李栋 申请人:济宁祥润光伏科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种八工位石英坩埚烘箱,其特征在于:它由八个单独封闭工作仓(1)组成,每个工作仓(1)由进出小车(2)、小车滑轮(3)、小车轨道(4)、轨道支架(5)、加热板(6)、集气罩(7)、排气管(8)、电热偶(9)、保温层(10)组成;进出小车(2)的底部设有小车滑轮(3),小车滑轮(3)在小车轨道(4)上滑动,小车轨道(4)固定在轨道支架(5)上,轨道支架(5)的下部中间设置加热板(6),集气罩(7)设置在工作仓(1)的右上角,排气管(8)和集气罩(7)连接,电热偶(9)设置在箱体内侧的保温层(10)内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:宋祯臣王亢刘勇李栋
申请(专利权)人:济宁祥润光伏科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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