柔性显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开柔性显示装置的制造方法。公开的柔性显示装置的制造方法包括如下步骤：准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体；将准备的多个基板组装体分为多层装载至加热炉内；对于在加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体，沿水平方向喷吹热风而进行热处理；在经热处理的基板组装体的柔性基板上形成显示单元；分离柔性基板和载体基板。根据这种制造方式，在分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象，因此可以使后续工序顺畅地进行，据此可提高生产率，还可以降低在处理过程中可能发生的产品被损伤的危险。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开。公开的包括如下步骤：准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体；将准备的多个基板组装体分为多层装载至加热炉内；对于在加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体，沿水平方向喷吹热风而进行热处理；在经热处理的基板组装体的柔性基板上形成显示单元；分离柔性基板和载体基板。根据这种制造方式，在分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象，因此可以使后续工序顺畅地进行，据此可提高生产率，还可以降低在处理过程中可能发生的产品被损伤的危险。【专利说明】
本专利技术涉及，尤其涉及能够防止基板的弯曲变形的。
技术介绍
如同有机发光显示装置的显示装置在驱动特性上能够实现薄型化以及柔性化，因此对这种显示装置进行着诸多研究。最近，显示单元形成于柔软的柔性基板上的柔性显示装置逐渐受到关注。在制造这种柔性显示装置时，通常通过如下方式进行制造：在坚硬的载体基板上涂布诸如聚酰亚胺的柔性材料而形成柔性基板，并在该柔性基板上形成显示单元之后，最后分离载体基板和柔性基板。然而，如此地分离出载体基板和柔性基板时，薄的柔性基板受到压缩应力而不能平坦地舒展，因此导致频繁地发生柔性基板弯曲的情况。这样一来，在后续工序中将会难以取放产品，因此要求提供对此的解决方案。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种被改善为分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象的。本专利技术的实施例提供的包括如下步骤：准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体；将准备的多个所述基板组装体分为多层装载至加热炉内；对于在所述加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体，沿水平方向喷吹热风而进行热处理；在经热处理的所述基板组装体的所述柔性基板上形成显示单元；分离所述柔性基板和所述载体基板。在进行所述热处理的步骤中，所述热风可沿着层叠于各层的所述基板组装体的柔性基板的板面形成层流而经过。在进行所述热处理的步骤中，可分阶段地提高所述热风的温度。所述热风的温度可按照小于150°C的第一阶段和150°C以上且小于300°C的第二阶段以及300°C以上的第三阶段来分阶段地上升。所述柔性基板可包括聚酰亚胺材料，所述载体基板可包括玻璃材料。还可包括在分离柔性基板和载体基板之后，对所述柔性基板进行再加热的后处理步骤。所述后处理步骤可包括将热源直接接触到所述柔性基板的直接加热步骤和将所述柔性基板在高温氛围下放置预定时间的间接加热步骤中的任意一个。在所述直接加热步骤中，可以将柔性基板放置到被加热至50?150°C的热板上且放置I?10分钟。在所述间接加热步骤中，可以将所述柔性基板放置于温度维持在50?150°C的烤箱内且放置I?5分钟。在分离出所述载体基板和所述柔性基板之后确认到所述柔性基板的弯曲时，选择进行所述后处理步骤。如上所述，根据本专利技术的，在分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象，因此可以使后续工序顺畅地进行，据此可提高生产率，还可以降低在处理过程中可能发生的产品被损伤的危险。【专利附图】【附图说明】图I为示出利用本专利技术的实施例提供的制造方法制造的柔性显示装置的剖面图。图2a至图2g为示出图I所示的柔性显示装置的制造过程的图。【具体实施方式】以下，参照附图详细说明本专利技术的优选实施例。图I示出利用本专利技术的一实施例提供的制造方法制造的柔性显示装置。如图所示，本实施例的柔性显示装置由依次层叠有聚酰亚胺材料的柔性基板11和呈现图像的显示单元20以及密封所述显示单元20的包封基板30的结构构成。即，实现了使用极薄的聚酰亚胺材料的柔性基板11和由薄膜构成的包封基板30来代替以往的又厚又硬的玻璃基板而密封显示单元20的柔性结构。因此，与用厚的玻璃基板来上下包围显示单元20的以往的典型的结构相比，柔软性得到了极大的提高，而且在屏幕被弯曲的状态下也能够进行显示。但是，这种柔性基板11由于其柔软的特性，不容易操控，因此在制造过程中与玻璃材料的坚硬的载体基板12形成基板组装体10而一同被移送，最终形成至包封基板30之后才使其相互分离。所述显示单元20为包括薄膜晶体管(未图示）和发光层(未图示）等而呈现图像的单元，在此简单地表示为显示单元20。而且，所述包封基板30为具有防止水分从外部渗透的防水性的层，例如可以由Sio/SiN的多层膜和透明聚酰亚胺层叠的薄膜层构成，而且由于是薄膜层，因此其厚度不过才I?10 μ m。如上所述的结构的柔性显示装置可通过如下工艺制造。首先，准备玻璃材料的玻璃基板12，并在其上表面涂布聚酰亚胺，以形成柔性基板11。这样一来，如图2a所示，形成柔性基板11粘贴于载体基板12之上的基板组装体10。然后，将如此地形成的多个基板组装体10在如图2b所示的加热炉100内层叠为多个层。在该加热炉100内，被热风机110加热的热风H形成循环。即，从热风机110排出的热风H—边通过热风喷射管120和热风流入管130喷射而流入，一边循环，此时，热风H在层叠于各个层的基板组装体10的平面上形成层流的同时流过该平面。因此，位于各个层的单个基板组装体10的各个部位也可以形成均匀的热处理，且各个层可以进行均匀的热处理。如果不是形成这种层流，而是变成形成对流的状态，则单个基板组装体10的各个部位也有可能无法较好地形成均匀的热处理，而且每个层被加热的程度会发生较大的偏差。但是，如同本方式那样，对位于各层的每个基板组装体10使热风H形成层流而加热时，如上所述，在单个基板组装体10上各个部位也能够形成均匀的热处理，且各个层也能够进行均匀的热处理。如此地在加热炉100内执行热处理时，各个基板组装体10的柔性基盘11的热膨胀系数也会在各个部位上变得均匀，且位于各层的若干柔性基板之间的热膨胀系数的偏差也会被缩小。据此，通过均匀的热处理，使得内部应力减小，于是最后分离出载体基板12之后，柔性基板11被弯曲的现象也会减少，而且，使得整体上所有的基板组装体10的柔性基板11具备几乎近似的热膨胀系数，因此也将有利于设定分离作业的条件，以避免最后容易发生弯曲。此时，如果突然喷射非常高的温度的热风，则聚酰亚胺材料的柔性基板11有可能产生气泡，因此优选为分阶段地提高热风的温度。例如优选为以如下方式调节热风温度:首先喷吹温度小于150°c的热风，以使涂布聚酰亚胺时被包含进去的溶媒蒸发(第一阶段加热)，然后喷吹温度为150°C以上且小于300°C的热风，使聚酰亚胺完全干燥(第二阶段加热)，最后喷吹温度为300°C以上的热风，使聚酰亚胺形成热稳定，且具备均匀的热膨胀系数(第三阶段加热)。其中，优选地，第一阶段加热(小于150°C)执行100?150分钟，第二阶段加热(1500C以上且小于300°C )执行100?150分钟，第三阶段加热(300°C以上)执行90?120分钟，但本专利技术并不局限于此。如此地完成热处理之后，如图2c所示，在柔性基板11上形成显示单元20。然后，如图2d所示，继续在显示单元20上形成包封基板30而密封显示单元20。接着，如图2e所示，分离载体基板12和柔性基板11，此时例如从载体基板12侧向整个面照射紫外线激光时，在玻璃材料的载体基板12和聚酰亚胺材料的柔性基板11之间的临界面将会根据两个层之间的热分解而发生分离。据此，如图所示，载体基板12被分离，柔性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性显示装置的制造方法，包括如下步骤：准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体；将准备的多个所述基板组装体分为多层装载至加热炉内；对于在所述加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体，沿水平方向喷吹热风而进行热处理；在经热处理的所述基板组装体的所述柔性基板上形成显示单元；分离所述柔性基板和所述载体基板。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：崔廷豪，吴相宪，康东旭，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：