压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表制造技术

本发明专利技术提供一种压电振动器（1），具备：具有基底部件（5）和在与该基底部件之间形成空腔（C）的盖部件的封装件；以及装配于安装面（11a）、并容纳在空腔内的压电振动片（3），压电振动片具备一对振动臂部（30、31）和悬臂支持该一对振动臂部的基端部并且装配于安装面的基部（32），在安装面处形成有当振动臂部沿厚度方向(T)位移时避免与顶端部（30a、31a）的接触的凹部(40)，在凹部的开口缘部处，形成有对于安装面相向的振动臂部的主面所接触的接触部（41）、和避免与在该主面与振动臂部的两个侧面相交的两根棱线部（36）中的至少一根棱线部的接触的退出部（42）。从而即使在下落等引起的冲击传递的情况下，也能够抑制振动臂部产生裂缝、碎片等，确保良好的振动特性。

【技术实现步骤摘要】
压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表
本专利技术涉及压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。
技术介绍
例如，在便携电话、便携信息终端设备中，作为用于时刻源、控制信号等的定时源、参考信号源等的器件，多使用利用了水晶等的压电振动器。关于此种压电振动器，已知在形成了空腔的封装件（package）内气密密封音叉型压电振动片的压电振动器。上述封装件将形成了凹部的一个基板重合于另一个基板，通过接合两个基板，利用凹部形成空腔。压电振动片具备：一对振动臂部，沿宽度方向平行地排列而配置；以及基部，悬臂支持这些一对振动臂部的基端部侧，采用一对振动臂部以基端部侧为起点而沿宽度方向相互接近、分离的方式以既定的频率振动（摇动）的构成。另外，伴随近年来的便携电话、便携信息终端设备的小型化，对于压电振动器也谋求进一步的小型化、薄型化。因此，压电振动片与安装面（封装件内表面）在厚度方向上的间隙变得非常窄（例如，20μm～100μm左右）。其结果，当由下落等引起的冲击施加于压电振动器时，振动臂部沿厚度方向位移（挠性变形），作为自由端的振动臂部的顶端部有可能接触封装件的内表面。此时，由于接触时的冲击，在振动臂部的顶端部上招致裂缝、碎片等，有可能招致由此导致的频率的波动、在最坏的情况下招致振动臂部自身的破损。因此，作为其对策，例如如下述专利文献1所示，在安装面中的与振动臂部的顶端部对应的部分形成用于避免振动臂部的顶端部与基底部件的干扰的凹部。根据专利文献1，公开有如下主旨，即，即使下落等冲击导致振动臂部沿厚度方向位移，通过凹部的角部（开口缘部）与振动臂的中间部接触，也能够容易地避免振动臂部的顶端部与基底部件接触。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010－119127号公报。
技术实现思路
然而，在上述现有技术中存在以下问题。即，在将压电振动片安装在基底部件的安装面上时，将压电振动片载置并固定于涂布在安装面上的金属凸点(bump)、导电性粘合剂等。已知此时，以压电振动片相对于安装面平行地设置的方式进行安装，但受金属凸点、导电性粘合剂是具有流动性的物质这一点、安装条件的偏差、压电振动片的设计误差、基底部件的设计误差、或者制造装置的规格等影响，现状是多以相对于安装面倾斜的状态安装。参照图17、图18对这一点更详细地进行说明。首先，在压电振动片相对于基底部件的安装面平行地安装的理想的情况下，如图17所示，由于振动臂部200的主面200a相对于安装面为平行的，故当外部冲击等导致振动臂部200位移时，能够使凹部201的角部201a与振动臂部200的主面200a线接触。然而，如上所述，由于压电振动片往往处于多少倾斜的状态，特别是沿压电振动片的宽度方向倾斜并安装，故实际上如图18所示，振动臂部200的主面200a相对于安装面倾斜，此时，当外部冲击等导致振动臂部200位移时，难以使凹部201的角部201a与振动臂部200的主面200a线接触。由此可知，仅仅振动臂部200的棱线部200b接触凹部201的角部201a，应力局部地作用于强度上较脆的棱线部200b。其结果，应力集中于棱线部200b，从而在棱线部200b产生裂缝、碎片等，导致压电振动片的强度、振动特性降低等结果。即，在现有技术中，当压电振动片的安装精度存在偏差时，不能够可靠地防止在外部冲击时在压电振动片中产生裂缝、碎片等的情况。因此，本专利技术为了解决上述问题，目的在于提供当对于基底上的安装面安装的压电振动片的安装精度存在偏差时，也能够防止压电振动片因外部冲击等而与基底部件干扰并产生裂缝、碎片等的压电振动器、以及具备该压电振动器的振荡器、电子设备、电波钟表。为了解决上述问题，本专利技术提供下列方案。（1）本专利技术所涉及的压电振动器具备：基底部件；盖部件，与所述基底部件重合并接合，并且在与该基底部件之间形成气密密封的空腔；以及压电振动片，具有一对振动臂部和一体地支持该一对振动臂部的长度方向上的基端部的基部，在所述空腔内安装在所述基底部件的安装面上，其特征在于，在所述基底部件的安装面处，在与所述压电振动片的顶端部相向的区域形成有凹部，并且当从所述基底部件的安装面的法线方向看时，在所述凹部的开口缘部中，配置于所述压电振动片的基端部侧的开口缘部处，在与所述振动臂部的棱线部对应的部分形成有侵蚀所述基端部侧的退出部。根据本专利技术的压电振动器，即使下落等引起的冲击传递至压电振动片，振动臂部沿厚度方向位移，由于在安装面处形成了凹部，凹部的开口缘部与沿厚度方向位移的振动臂部（顶端部以外的部分）接触，故也能够避免容易较大地位移的振动臂部的顶端部与基底部件干扰并破损。而且，在凹部的开口缘部处，从基底部件的安装面的法线方向看时，在与振动臂部的棱线部对应的部分形成了向基端部侧侵蚀的退出部。因此，即使因上述理由，在压电振动片向宽度方向倾斜并安装的状态下压电振动片沿厚度方向位移，也不用担心振动臂部的棱线部与凹部的开口缘部接触。即，不会像以往那样应力集中于棱线，因而能够防止棱线部的裂缝、碎片等。因此，能够提高压电振动片的强度、振动特性。此外，在此所述的“振动臂部的与棱线部对应的部分处”是指当从安装面的法线方向看时与振动臂部的棱线部交叉的部分及其附近部分。即，指棱线部沿振动臂部的厚度方向位移时的通过区域。而且在此所述的棱线部包括振动臂部所具有的多个棱线部中的至少与安装面相向的棱线部。从而，不仅仅能够抑制振动臂部的顶端部的裂缝、碎片等发生，也能够抑制棱线部的裂缝、碎片等发生，所以能够防止压电振动片的意外的频率波动等，能够提供确保了良好的振动特性的高性能且耐冲击性强的压电振动器。（2）在本专利技术所涉及的压电振动器中，优选所述退出部与所述一对振动臂部的各棱线部对应地形成。此时，由于退出部与各棱线部对应地形成，故即使压电振动片相对于安装面而以在向宽度方向的某侧倾斜的状态安装，也能够避免棱线部与开口缘部的接触，容易抑制裂缝、碎片等产生。从而，能够提高压电振动片的安装作业效率。（3）在本专利技术所涉及的压电振动器中，优选所述退出部与所述凹部形成为大致相同的深度。此时，例如能够利用冲床等同时且容易地形成退出部与凹部，因而能够通过简单的工序形成退出部以及凹部，除此之外容易高精度地形成微细形状的退出部。（4）本专利技术所涉及的振荡器的特征在于，上述本专利技术所涉及的压电振动器作为振子而与集成电路电连接。（5）本专利技术所涉及的电子设备的特征在于，上述本专利技术所涉及的压电振动器与计时部电连接。（6）本专利技术所涉及的电波钟表的特征在于，上述本专利技术所涉及的压电振动器与滤波器部电连接。根据本专利技术所涉及的振荡器、电子设备以及电波钟表，由于具备上述压电振动器，故同样能够谋求高性能化以及耐冲击性的提高。专利技术效果根据本专利技术，能够提供当对于基底上的安装面安装的压电振动片的安装精度存在偏差时，也能够防止压电振动片因外部冲击等而与基底部件干扰并产生裂缝、碎片等的压电振动器、以及具备该压电振动器的振荡器、电子设备、电波钟表。附图说明图1是示出本专利技术所涉及的压电振动器的一个实施方式的外观立体图；图2是图1所示的压电振动器的内部构成图；图3是沿着图2所示的A－A线的压电振动器的截面图；图4是图1所示的压电振动器的分解立体图；图5是图4所示的压电振动片中的振动臂部的顶端部的放大立体图；图6是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动器，具备：基底部件；盖部件，与所述基底部件重合并接合，并且在与该基底部件之间形成气密密封的空腔；以及压电振动片，具有一对振动臂部和一体地支持该一对振动臂部的长度方向上的基端部的基部，在所述空腔内安装在所述基底部件的安装面上，所述压电振动器的特征在于，在所述基底部件的安装面处，在与所述压电振动片的顶端部相向的区域形成有凹部，并且当从所述基底部件的安装面的法线方向看时，在所述凹部的开口缘部中，配置于所述压电振动片的基端部侧的开口缘部处，在与所述振动臂部的棱线部对应的部分形成有向所述基端部侧侵蚀的退出部。

【技术特征摘要】
2012.09.20 JP 2012-2072601.一种压电振动器，具备：基底部件；盖部件，与所述基底部件重合并接合，并且在与该基底部件之间形成气密密封的空腔；以及压电振动片，具有一对振动臂部和一体地支持该一对振动臂部的长度方向上的基端部的基部，在所述空腔内安装在所述基底部件的安装面上，所述压电振动器的特征在于，在所述基底部件的安装面处，在与所述压电振动片的顶端部相向的区域形成有凹部，并且当从所述基底部件的安装面的法...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林高志，
申请(专利权)人：精工电子水晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP