本发明专利技术抑制由振动(振幅)的追随性引起的振动变得不稳定的情形。压电振动片不是将在振动臂部(7)的前端部设置的配重膜(75)的既定区域整体(总厚度量)熔融除去，而是通过非热加工来除去。在通过非热加工除去配重膜(75)的情况下，以沿着长度方向逐渐变薄的方式形成，从而形成倾斜部(B)。倾斜部(B)的与第一厚度部分(C)相反侧的端部与通过非热加工被除去为比第一厚度部分(C)更薄的第二厚度部分(A)连续。配重膜(75)不是熔融除去，而是通过对配重膜(75)直接照射非热加工激光(Lf)，从而通过非热加工来除去的。在此，非热加工激光(Lf)使用能够进行配重膜(75)的非热加工的脉冲宽度，即脉冲宽度为皮秒(2位以下)至飞秒的激光，例如飞秒激光。
【技术实现步骤摘要】
压电振动片、压电振动器、以及它们的制造方法
本专利技术涉及压电振动片、压电振动器、压电振动片的制造方法、以及压电振动器的制造方法，详细地，关系到使用音叉型石英的技术。
技术介绍
例如，在便携电话、便携信息终端设备等电子设备中，作为在时间源、控制信号等的定时源、参考信号源等中使用的器件，使用利用了形成为音叉型的压电振动片的压电振动器。在这样的音叉型压电振动片中，在振动臂部的前端部分形成金属的配重膜，通过修整该膜来进行频率调整(例如，专利文献1)。即，使装配于封装的压电振动片振荡，测定频率，同时照射脉冲宽度为纳秒左右的激光而熔融除去配重膜，由此进行修整以便减少其质量，从而进行频率调整(专利文献1)。在利用该激光进行修整的情况下，使熔融的配重膜的面朝下，利用在封装底面设置的凹陷部分来接受通过从压电振动片的上表面侧(与配重膜相反的一侧)照射激光而熔融除去的配重膜。图8是表示现有的利用激光将配重膜熔融除去之后的振动臂部前端的状态的图。如图8所示，在以往的修整中，由于将照射了激光的区域的配重膜整体除去，因而在未被除去而保留的配重膜部分与除去部分之间产生陡峭的阶梯差，因而存在振动(振幅)的追随差、振动变得不稳定的问题。另外，在以往的基于激光的频率调整中，由于照射了激光Ln的区域的配重膜750整体被熔融除去，因而不能够进一步使频率调整精度提高。特别是在3mm×2mm以下的小型压电振动片的情况下，由于成为修整对象的配重膜的面积变小，因而更精细且精度更高的修整对频率调整是必需的。另外，在以往的频率调整中，如图8所示，由于利用激光Ln使配重膜750被熔融除去，因而在熔融除去后保留的配重膜750的周围，在主面、侧面产生碎屑751、752。如果例如激光Ln的光点直径为20μm，则该碎屑的产生宽度w1为大致相同程度的偏差幅度w1＝20μm而较大，因而成为相对于长度方向的中心线P的左右平衡被破坏的原因。在图8(b)所示的例子中，相对于长度方向的中心线P，在左侧产生的碎屑量比右侧更多。碎屑751、752不仅在振动臂部的中心线P的左右，而且在两个振动臂部处的产生量也不同，从而存在如下问题：振动臂部的平衡被破坏，带来振动泄漏引起的不良影响。进而，由于配重膜750在朝下的状态下熔融，因而如图8(a)所示，形成于主面的碎屑751成为卷起的状态，存在因振动而剥落的可能性。如果碎屑因振动而掉落，那么有可能振动臂部的左右的平衡被破坏，并且因重量的变化而影响到频率。通常，压电振动片越小型化，为了确保重量，就越需要加厚配重膜750，因而在用激光Ln熔融除去配重膜750时，碎屑751容易产生。因此，越是小型的压电振动片，由碎屑引起的左右平衡的破坏或振动泄漏的问题也越大。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2003-133879号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术目的在于，在音叉型压电振动片中，抑制由振动(振幅)的追随性引起的振动变得不稳定的情形。用于解决问题的方案(1)在技术方案1所记载的专利技术中，提供一种安装于在内侧具备安装部的封装内的、由石英形成为音叉型的压电振动片，其特征在于，具备：基部；从前述基部并列地延伸设置的一对振动臂部；在前述一对振动臂部形成的两个系统的电极；以及频率调整用的配重膜，其具有在前述振动臂部的前端部由金属形成的第一厚度部分、和倾斜部，该倾斜部具备与前述第一厚度部分连续地在前述基部侧和前端侧中的至少一侧形成的、厚度与前述第一厚度部分相比而逐渐变薄的倾斜面。(2)在技术方案2所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案1所述的压电振动片，其特征在于，前述倾斜部由朝向前述振动臂部的长度方向的倾斜面、以及朝向相对于前述长度方向倾斜的方向的倾斜面中的至少一个倾斜面构成。(3)在技术方案3所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案1或技术方案2所述的压电振动片，其特征在于，前述配重膜具有比前述第一厚度部分更薄地形成的第二厚度部分，前述倾斜部的一侧与前述第一厚度部分连续，另一侧与前述第二厚度部分连续。(4)在技术方案4所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案1或技术方案2所述的压电振动片，其特征在于，前述配重膜的倾斜部中，前述振动臂部的长度方向上的一侧与前述第一厚度部分连续，另一侧与前述振动臂部的主面抵接。(5)在技术方案5所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案1至技术方案4中的任一技术方案所述的压电振动片，其特征在于，前述倾斜部在前述长度方向上的从前述一侧到前述另一侧之间，具备一个以上的倾斜的阶梯部。(6)在技术方案6所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案1至技术方案4中的任一技术方案所述的压电振动片，其特征在于，前述倾斜面方向上的前述倾斜部的长度为形成前述倾斜部的激光的光点直径的一半以上。(7)在技术方案7所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案1至技术方案6中的任一技术方案所述的压电振动片，其特征在于，前述配重膜形成在前述振动臂部中的前端部的至少一个主面。(8)在技术方案8所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案1至技术方案7中的任一技术方案所述的压电振动片，其特征在于，前述配重膜的倾斜部形成在前述前端侧。(9)在技术方案9所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案1至技术方案8中的任一技术方案所述的压电振动片，其特征在于，是利用从前述基部向前述振动臂部的外侧延伸而形成的支撑臂部安装于前述安装部的侧臂型、利用从前述基部延伸到前述振动臂部之间而形成的支撑单臂部安装于前述安装部的中心臂型、或者前述基部安装于前述安装部的悬臂型。(10)在技术方案10所记载的专利技术中，提供一种压电振动器，其特征在于，具有：在内侧具备安装部的封装；安装于前述安装部的、技术方案1至技术方案9中的任一技术方案所述的压电振动片；以及从前述安装部直到前述封装的外部而形成的外部电极部。(11)在技术方案11所记载的专利技术中，提供一种压电振动片的制造方法，其特征在于，具备：外形形成工序，形成音叉型压电振动片的外形，该音叉型压电振动片至少具有基部和从前述基部并列地延伸设置的一对振动臂部；电极形成工序，在前述振动臂部形成两个系统的电极；配重膜形成工序，在前述振动臂部的前端侧的主面形成频率调整用的配重膜；以及频率调整工序，通过除去前述配重膜，在至少一部分形成具备厚度逐渐变薄的倾斜面的倾斜部，从而调整频率。(12)在技术方案12所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案11所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，前述频率调整工序通过非热加工除去前述配重膜的一部分。(13)在技术方案13所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案12所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，前述频率调整工序直接照射使前述配重膜的除去为非热加工的脉冲宽度的非热加工激光。(14)在技术方案14所记载的专利技术中，提供一种根据技术方案13所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，前述非热加工激光是脉冲宽度为2位以下的皮秒激光或飞秒激光。(15)在技本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种安装于在内侧具备安装部的封装内的、由石英形成为音叉型的压电振动片，其特征在于，具备：/n基部；/n从所述基部并列地延伸设置的一对振动臂部；/n在所述一对振动臂部形成的两个系统的电极；以及/n频率调整用的配重膜，其具有在所述振动臂部中的前端部由金属形成的第一厚度部分、和倾斜部，所述倾斜部具备与所述第一厚度部分连续地在所述基部侧和前端侧中的至少一侧形成的、厚度与所述第一厚度部分相比而逐渐变薄的倾斜面。/n
【技术特征摘要】
20190703 JP 2019-1245191.一种安装于在内侧具备安装部的封装内的、由石英形成为音叉型的压电振动片，其特征在于，具备：
基部；
从所述基部并列地延伸设置的一对振动臂部；
在所述一对振动臂部形成的两个系统的电极；以及
频率调整用的配重膜，其具有在所述振动臂部中的前端部由金属形成的第一厚度部分、和倾斜部，所述倾斜部具备与所述第一厚度部分连续地在所述基部侧和前端侧中的至少一侧形成的、厚度与所述第一厚度部分相比而逐渐变薄的倾斜面。
2.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，所述倾斜部由朝向所述振动臂部的长度方向的倾斜面、以及朝向相对于所述长度方向倾斜的方向的倾斜面中的至少一个倾斜面构成。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的压电振动片，其特征在于，所述配重膜具备比所述第一厚度部分更薄地形成的第二厚度部分，所述倾斜部的一侧与所述第一厚度部分连续，另一侧与所述第二厚度部分连续。
4.根据权利要求1或权利要求2所述的压电振动片，其特征在于，所述配重膜的倾斜部中，所述振动臂部的长度方向上的一侧与所述第一厚度部分连续，另一侧与所述振动臂部的主面抵接。
5.根据权利要求1至权利要求4中的任一项权利要求所述的压电振动片，其特征在于，所述倾斜部在所述长度方向上的从所述一侧到所述另一侧之间，具备一个以上的倾斜的阶梯部。
6.根据权利要求1至权利要求4中的任一项权利要求所述的压电振动片，其特征在于，所述倾斜面方向上的所述倾斜部的长度为形成所述倾斜部的激光的光点直径的一半以上。
7.根据权利要求1至权利要求6中的任一项权利要求所述的压电振动片，其特征在于，所述配重膜形成在所述振动臂部中的前端部的至少一个主面。
8.根据权利要求1至权利要求7中的任一项权利要求所述的压电振动片，其特征在于，所述配重膜的倾斜部形成在所述前端侧。
9.根据权利要求1至权利要求8中的任一项权利要求所述的压电振动片，其特征在于，是利用从所述基部向所述振动臂部的外侧延伸而形成的支撑臂部安装于所述安装部的侧臂...
【专利技术属性】
技术研发人员：市村直也，涩谷元规，
申请(专利权)人：精工电子水晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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