【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚热涂氧化锆的生产工艺
本专利技术涉及一种石英坩埚热涂氧化锆的生产工艺,属于光伏领域。
技术介绍
随着光伏市场的变化,太阳能电池及光伏系统的成本持续下降并逼近常规发电成本,仍将是光伏产业发展的主题,从硅料到组件以及配套部件等均将面临快速降价的市场压力,太阳能电池将不断向高效率、低成本方向发展,我们研发的新型石英坩埚可以让我们的上游客户(单晶娃棒生广厂家)生广成本降低,单晶棒的品质得到提闻。一般的高纯坩埚使用方法;先把高纯度的多晶硅原料放入石英坩埚内,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长;接着,控制籽晶生长出一段长为IOOmm左右、直径为3~5mm的细颈,用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程就是引晶;随后,放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩;接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角;然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体;最后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺;这样一个单晶拉制过程就基本完成,进行一定的保温冷却后就可以取出,如果按使用22寸的坩埚推算的话,装料130KG,坩埚在高温情况下需要承受80个小时,这也达到一般高纯坩埚的极限,所以一般坩埚只能使用一次。随着拉单晶的技术提高,近年来不少大厂家自己研发了单晶2次投 ...
【技术保护点】
一种石英坩埚热涂氧化锆的生产工艺,其特征在于:工艺步骤包括:梯度布料:先在旋转的石墨模具中加入所需重量分数为80?120的高纯石英砂用成型棒把料刮均匀,然后将配好氧化锆粉均匀的散布在高纯石英砂上,将模具导入熔制炉内;熔制阶段:先抽真空,然后通过3根石墨电极起电弧,熔制阶段温度约2700度,抽真空带出部分石英砂粉尘,需收集处理;成品出炉:经过20??30分钟的熔制阶段后,将电弧关闭,模具退出熔制炉,冷却5分钟左右把坩埚取出;尺寸检验:使用卡钳检验尺寸大小,合格产品进入下一步工序;喷砂:用喷枪将石英砂喷在石英坩埚的外表面,用来除去外表面的附砂,喷出的砂由除尘器收集后重复使用;切割:将初检合格的石英坩埚用坩埚切割倒棱机按图纸的要求把坩埚上口多余的部分切掉,再进行倒棱,外棱斜度为30°,里棱斜度为45°;检验:用测厚仪测量坩埚的厚度,用游尺测量坩埚的外径尺寸,达到固定的要求;清洗:先酸洗,将坩埚没入(6??8%)HF酸洗槽内洗,然后进行高压清洗及超声波清洗,祛除表面的残留离子,(高纯水的纯度须大于15MΩ);烘干:将清洗完的坩埚装到烘箱内把坩埚表面的水分烘干;内包装:将烘干完的坩埚通过传递窗放 ...
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚热涂氧化锆的生产工艺,其特征在于:工艺步骤包括:梯度布料:先在旋转的石墨模具中加入所需重量分数为80-120的高纯石英砂用成型棒把料刮均匀,然后将配好氧化锆粉均匀的散布在高纯石英砂上,将模具导入熔制炉内;熔制阶段:先抽真空,然后通过3根石墨电极起电弧,熔制阶段温度约2700度,抽真空带出部分石英砂粉尘,需收集处理;成品出炉:经过20-30分钟的熔制阶段后,将电弧关闭,模具退出熔制炉,冷却5分钟左右把坩埚取出;尺寸检验:使用卡钳检验尺寸大小,合格产品进入下一步工序;喷砂:用喷枪将石英砂喷在石英坩埚的外表面,用来除去外表面的附砂...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋祯臣,刘勇,李栋,
申请(专利权)人:济宁祥润光伏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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