调节清洗刷压力的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种调节清洗刷压力的装置，包括：控制系统、压力转换器、气压阀、气体管路、气缸、清洗刷以及皮带；其中，压力转换器与气压阀通过气体管路连接，压力转换器与控制系统信号连接；气缸与气压阀通过气体管路连接；清洗刷与气缸通过皮带连接；控制系统能够给压力转换器信号，由压力转换器控制气压阀，气压阀使气体管路中的气压达到预定气压，气体进入气缸能够带动气缸拉动皮带，从而能够准确的由皮带调节所述清洗刷对半导体晶圆的压力。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
调节清洗刷压力的装置
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种调节清洗刷压力的装置。
技术介绍
在半导体制造过程中，常常需要对半导体晶圆的表面进行化学机械抛光处理(Chemical Mechanical Polishing,CMP),即将半导体晶圆表面的一部分薄膜研磨去除。在抛光过程中半导体晶圆表面通常会残留很多玷污物，这些玷污物包括磨料颗粒、被抛光薄膜带来的颗粒以及从磨料中带来的化学玷污物。因此在进行化学机械抛光处理之后，还需要对半导体晶圆表面进行清洗处理。众所周知，上述玷污物均是受压力被挤压在所述半导体晶圆的表面，由于不同产品所需要的抛光程度不同，压力也就相应的不同，从而造成玷污物遭受到的压力也不同，因此，后续清洗时，也需要使用不同清洗程度对半导体晶圆进行清洗。请参考图1，图1是现有技术中清洗刷的结构示意图，现有技术中清洗刷10为圆柱体，其表面设有若干凸点，凸点与半导体晶圆20的表面紧贴，能够粘附并去除残留在所述半导体晶圆20表面的玷污物，所述清洗刷10内部设有滚动轴11，所述滚动轴11能够带动所述清洗刷10在所述半导体晶圆20的表面进行滚动，所述滚动轴11上设有皮带12，所述皮带12能够随着所述滚动轴11转动，不同清洗程度意味着所述凸点与所述半导体晶圆20表面的接触面积以及压力程度有关，所述凸点与所述半导体晶圆20表面的压力越大，所述凸点与所述半导体晶圆20表面的接触面积也就越大，从而清洗的程度也就越大。正如上文提及，不同产品需要不同的清洗程度，也就是说，需要所述清洗刷10对所述半导体晶圆20的压力不同。现有技术中，通常都是通过人工凭借经验拉动皮带12来调节清洗刷10对半导体晶圆20的压力。然而，手动拉动皮带12并不能使压力十分精准，也就会造成清洗程度不可控，要么造成半导体晶圆20清洗不净，依然有许多玷污物存在；要么造成半导体晶圆20表面被过清洗,对半导体晶圆20表面造成一定的损伤。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种调节清洗刷压力的装置，能够自动准确的调节清洗刷对半导体晶圆表面的压力。为了实现上述目的，本技术提出一种调节清洗刷压力的装置，用于调节清洗刷对半导体晶圆表面的压力，所述装置包括:控制系统、压力转换器、气压阀、气体管路、气缸、清洗刷以及皮带；其中，所述压力转换器与所述气压阀通过气体管路连接，所述压力转换器与所述控制系统信号连接；所述气缸与所述气压阀通过气体管路连接；所述清洗刷与所述气缸通过皮带连接。进一步的，所述装置还包括压力调节器和电磁阀，所述压力调节器和电磁阀均设置在气体管路上，所述电磁阀与所述控制系统信号连接。进一步的，所述气缸和清洗刷均为2个。进一步的，所述皮带为4根。进一步的，所述气缸的两端均设有拉伸臂，所述皮带一端与所述拉伸臂连接。进一步的，所述清洗刷两端均设有滚动轴，所述皮带的另一端与所述滚动轴连接。进一步的，所述半导体晶圆放置在所述清洗刷之间。进一步的，所述清洗刷表面设有若干凸点。与现有技术相比，本技术的有益效果主要体现在:控制系统能够给压力转换器信号，由压力转换器控制气压阀，气压阀使气体管路中的气压达到预定气压，气体进入气缸能够带动气缸拉动皮带，从而能够准确的由皮带调节所述清洗刷对半导体晶圆的压力。【附图说明】图1为现有技术中清洗刷的结构示意图；图2为本技术一实施例中调节清洗刷压力的装置。【具体实施方式】下面将结合示意图对本技术的调节清洗刷压力的装置进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图2，在本实施例中提出一种调节清洗刷压力的装置，用于调节清洗刷对半导体晶圆表面的压力，所述装置包括:控制系统、压力转换器、气压阀、气体管路100、气缸500、清洗刷400以及皮带420 ；其中，所述压力转换器与所述气压阀通过气体管路100连接，所述压力转换器与所述控制系统通过信号线200进行信号连接；所述控制系统能够给所述压力转换器信号，从而能够由压力转换器控制所述气压阀，使所述气体管路100内的气压达到预定气压，例如是3psi或者是5psi。在本实施例中，所述装置还包括压力调节器和电磁阀，所述压力调节器和电磁阀均设置在气体管路100上，所述压力调节器能够控制进入所述气体管路100中的气体的总压力大小，所述电磁阀与所述控制系统也通过信号线200进行信号连接，所述电磁阀能够打开和关闭所述气体管路100。在本实施例中，所述气缸500与所述气压阀通过气体管路100连接；所述清洗刷400与所述气缸500通过皮带420连接，在本实施例中，所述气缸500和清洗刷400均为2个，所述皮带420为4根，所述清洗刷400两端均设有滚动轴410，所述滚动轴410分别与所述皮带420的一端连接；所述气缸500的两端均设有拉伸臂510，所述皮带420的另一端与所述拉伸臂510连接；当所述气缸500受到预定压力的气体时，所述气缸500能够通过所述拉伸臂510拉动所述皮带420,从而能够带动所述滚动轴410,进而能够起到调节清洗刷400对所述半导体晶圆300表面施加的压力大小。在本实施例中，所述半导体晶圆300放置在所述清洗刷400之间，一个清洗刷400用于清洗所述半导体晶圆300的表面，另一个清洗刷400用于清洗所述半导体晶圆300的背面，其中，所述清洗刷400的表面设有若干凸点，能够对所述半导体晶圆300进行更好的清洗。综上，在本技术实施例提供的调节清洗刷压力的装置中，控制系统能够给压力转换器信号，由压力转换器控制气压阀，气压阀使气体管路中的气压达到预定气压，气体进入气缸能够带动气缸拉动皮带，从而能够准确的由皮带调节所述清洗刷对半导体晶圆的压力。上述仅为本技术的优选实施例而已，并不对本技术起到任何限制作用。任何所属
的技术人员，在不脱离本技术的技术方案的范围内，对本技术揭露的技术方案和
技术实现思路
做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本技术的技术方案的内容，仍属于本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种调节清洗刷压力的装置，用于调节清洗刷对半导体晶圆表面的压力，其特征在于，所述装置包括：控制系统、压力转换器、气压阀、气体管路、气缸、清洗刷以及皮带；其中，所述压力转换器与所述气压阀通过气体管路连接，所述压力转换器与所述控制系统信号连接；所述气缸与所述气压阀通过气体管路连接；所述清洗刷与所述气缸通过皮带连接。

【技术特征摘要】
1.一种调节清洗刷压力的装置，用于调节清洗刷对半导体晶圆表面的压力，其特征在于，所述装置包括: 控制系统、压力转换器、气压阀、气体管路、气缸、清洗刷以及皮带；其中，所述压力转换器与所述气压阀通过气体管路连接，所述压力转换器与所述控制系统信号连接；所述气缸与所述气压阀通过气体管路连接；所述清洗刷与所述气缸通过皮带连接。2.如权利要求1所述的调节清洗刷压力的装置，其特征在于，所述装置还包括压力调节器和电磁阀，所述压力调节器和电磁阀均设置在气体管路上，所述电磁阀与所述控制系统信号连接。3.如权利要求1所述的调节清洗刷压力的...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐强，钱继君，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：