移动式二氯乙烯手动加液系统技术方案

技术编号：9752117 阅读：83 留言：0更新日期：2014-03-09 18:27

本实用新型专利技术公开了一种移动式二氯乙烯手动加液系统，包括：移动式载物平台；二氯乙烯瓶；多个T型三通、手阀及多根工艺管路；其中，第一T型三通一端接二氯乙烯瓶粗口，另两端装第一、第二手阀；第二T型三通一端接二氯乙烯瓶细口，另两端装第三、第四手阀；第三T型三通一端装第五手阀，另两端用于接入到设备侧氮气输送管路中；第四T型三通一端装第六手阀，另两端用于接入到设备侧二氯乙烯输出管路中；第一、第四手阀另一侧管路出口连接纯氮气；第二、第六手阀另一侧管路出口用于排放废气；第三手阀另一侧通过管路与第五手阀连接。本实用新型专利技术在不拆装二氯乙烯瓶的情况下，实现了二氯乙烯加液，节省了二氯乙烯更换的作业时间，减少了残液浪费。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】
移动式二氯乙烯手动加液系统
本技术涉及集成电路制造领域，特别是涉及热氧化生长工序中，二氯乙烯的补液。
技术介绍
在半导体制造热氧化生长工序中，使用的化学品二氯乙烯为I升装玻璃瓶，如图1Ca)所示，正常使用时，第四管路出口 P4接纯净氮气，第六管路出口 P6接到反应腔，氮气在二氯乙烯瓶中鼓泡,携带二氯乙烯蒸汽通过第六管路出口 P6进入反应腔。当第二二氯乙烯玻璃瓶B2内的二氯乙烯使用到少于30%时，会出现工艺参数偏移现象，此时就必须更换新的满瓶的二氯乙烯。通常做法是先将工艺主设备停止生产，再将第二二氯乙烯玻璃瓶B2的两侧口封闭，从两侧接口处与工艺管路断开，拆下“空瓶”第二二氯乙烯玻璃瓶B2，如图1(b)所示，然后安装上全新的满瓶的第一二氯乙烯玻璃瓶BI，打开两侧封口，重新与工艺管路连接，如图1 (c)所示。更换完成后需要经过试验，确认管路封闭口是否打开，更换过程中是否出现污染等情况，一般20个小时以后，主工艺设备才能交付生产。换下的二氯乙烯“空瓶”中残留的1/3左右的二氯乙烯无法再使用。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种移动式二氯乙烯手动加液系统，它不仅补液方便、高效，而且能减少二氯乙烯残液浪费。为解决上述技术问题，本技术的移动式二氯乙烯手动加液系统，包括:移动式载物平台；第一二氯乙烯瓶(BI)，充有足够量的二氯乙烯，放置在移动式载物平台上；多个T型三通接头，多个手阀，以及多根连接用的工艺管路；其中:第一 T型三通(Tl)，一端连接第一二氯乙烯瓶(BI)的粗管出口，另外两端分别安装第一手阀(VI)、第二手阀(V2)；第二 T型三通(T2)，一端连...

【技术保护点】
移动式二氯乙烯手动加液系统，其特征在于，包括：?移动式载物平台；?第一二氯乙烯瓶（B1），充有足够量的二氯乙烯，放置在移动式载物平台上；?多个T型三通接头，多个手阀，以及多根连接用的工艺管路；其中：?第一T型三通（T1），一端连接第一二氯乙烯瓶（B1）的粗管出口，另外两端分别安装第一手阀（V1）、第二手阀（V2）；?第二T型三通（T2），一端连接第一二氯乙烯瓶（B1）的细管出口，另外两端分别安装第三手阀（V3）、第四手阀（V4）；?第三T型三通（T3），一端安装第五手阀（V5），另外两端用于接入到设备侧二氯乙烯压送管路的氮气输送管路中；?第四T型三通（T4），一端安装第六手阀（V6），另外两端用于接入到设备侧二氯乙烯压送管路的二氯乙烯输出管路中；?第一手阀（V1）、第四手阀（V4）另一侧的第一管路出口（P1）、第三管路出口（P3）连接纯氮气；?第二手阀（V2）、第六手阀（V6）另一侧的第二管路出口（P2）、第五管路出口（P5）用于酸性废气的排放；?第三手阀（V3）另一侧通过管路与第五手阀（V5）连接。

【技术特征摘要】
1.移动式二氯乙烯手动加液系统，其特征在于，包括: 移动式载物平台；第一二氯乙烯瓶(BI)，充有足够量的二氯乙烯，放置在移动式载物平台上；多个T型三通接头，多个手阀，以及多根连接用的工艺管路；其中: 第一 T型三通(Tl)，一端连接第一二氯乙烯瓶(BI)的粗管出口，另外两端分别安装第一手阀(VI)、第二手阀(V2)；第二 T型三通(T2)，一端连接第一二氯乙烯瓶(BI)的细管出口，另外两端分别安装第三手阀(V3)、第四手阀(V4)；第三T型三通(T3)，一端安装第五手阀(V5)，另外两端用于接入到设备侧二氯乙烯压送管路的氮气输送管路中；第四T型三通(T4)，一端安装第六手阀(V6)，另外两端用于接入到设备侧二氯乙烯压送管路的二氯乙烯输出管路中；第一手阀(VI)、第四...

【专利技术属性】
技术研发人员：周利明，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：

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