表面等离子体共振传感器元件和包括其的传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种表面等离子体共振传感器元件，其包括薄金属层、光学构造和吸收层，所述光学构造设置在所述薄金属层上以用于引导光线至所述薄金属层以及离开所述薄金属层，所述吸收层设置在与所述光学构造相对的所述薄金属层上。所述吸收层包含具有内在微孔性的聚合物，所述聚合物具有至少0.4立方纳米的平均孔体积。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面等离子体共振传感器元件和包括其的传感器
本专利技术广义地涉及传感器，并且更具体地涉及表面等离子体共振传感器以及其制造和使用的方法。
技术介绍
在不同折射率的两种透明介质（例如，玻璃和水）之间的界面处，来自较高折射率侧的光线部分地反射并部分地折射。如果大于入射角的某一特定临界角，则没有光线折射穿过界面，并且观察到完全的内部反射。虽然入射光完全地反射，但是电磁场分量穿透短（数十纳米（nm））距离进入较低折射率的介质中，从而形成指数衰减渐逝波。如果介质之间的界面涂覆有薄层的金属（例如，金），并且光线为单色的和p偏振的（即，相对于其上入射该光线的平面偏振平行），那么，由于渐逝波和表面等离子体之间的共振能传递，反射光的强度在特定入射角大幅减少（称为表面等离子体共振（SPR））。共振条件受吸附于薄金属薄膜上的材料的影响。表面等离子体，也称为“表面等离子体激元”，为表面电磁波，该表面电磁波在平行于金属/电介质（或金属/真空）表面的方向上传播。由于波在金属和电介质的边界上，所以这些振动对该边界的任何变化非常敏感，诸如分子对金属表面的吸附。在一个通用配置中，称为姆士奇士文（Kretschmann）本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面等离子体共振传感器元件，包括：薄金属层；光学构造，所述光学构造设置在所述薄金属层上以用于引导光线至所述薄金属层以及离开所述薄金属层；吸收层，所述吸收层设置在与所述光学构造相对的所述薄金属层上，所述吸收层包含具有内在微孔性的聚合物，所述聚合物具有至少0.4立方纳米的平均孔体积。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.06.16 US 61/497,6321.一种表面等离子体共振传感器元件，包括：薄金属层；光学构造，所述光学构造设置在所述薄金属层上以用于引导光线至所述薄金属层以及离开所述薄金属层；吸收层，所述吸收层设置在与所述光学构造相对的所述薄金属层上，所述吸收层包含具有内在微孔性的聚合物，所述聚合物具有至少0.4立方纳米的平均孔体积。2.根据权利要求1所述的表面等离子体共振传感器元件，其中所述光学构造由棱镜组成。3.根据权利要求1所述的表面等离子体共振传感器元件，其中所述光学构造包括棱镜、透明板和夹在两者间的流体，其中所述棱镜、透明板和流体具有匹配的折射率。4.根据权利要求1所述的表面等离子体共振传感器元件，其中所述具有内在微孔性的聚合物具有至少0.45立方纳米的平均孔体积。5.根据权利要求1所述的表面等离子体共振传感器元件，其中所述具有内在微孔性的聚合物为具有选自以下的单体单元的均聚物：和6.根据权利要求1所述的表面等离子体共振传感器元件，其中所述薄金属层包含金、...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜明灿，郝冰，B·K·内尔森，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：
国别省市：