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表面等离子体共振传感器元件和包括其的传感器制造技术
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下载表面等离子体共振传感器元件和包括其的传感器的技术资料
文档序号:9741815
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本发明提供了一种表面等离子体共振传感器元件,其包括薄金属层、光学构造和吸收层,所述光学构造设置在所述薄金属层上以用于引导光线至所述薄金属层以及离开所述薄金属层,所述吸收层设置在与所述光学构造相对的所述薄金属层上。所述吸收层包含具有内在微孔性...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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