【技术实现步骤摘要】
—种用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法
本专利技术涉及MOCVD工艺结果数据挖掘领域，特别是一种用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法。
技术介绍
随着计算机硬件技术的提高，计算机对数据的处理能力也在日渐提升，加上当前互联网络的发展以及普及，数据信息量在不断上涨，人们已经进入了一个信息爆炸的时代。人们除了利用现有的关系数据库标准查询语句得到一般的直观的信息以外，很多时候因为业务的需求不得不挖掘其内含的、未知的却又实际存在的数据关系，而这些数据关系往往是对业务存在极大价值，也是人们迫切想要知道的信息。这就对个人，尤其是对企业而言，如何从这些海量的数据当中挖掘出潜在的，有用的信息提出了不小的挑战。数据挖掘就是从大量的、不完全的、有噪声的、模糊的、随机的实际应用数据中，提取隐含在其中的、人们事先不知道的、但又是潜在有用的信息的过程。一项MOCVD工艺包含了质量流量计、压力控制计、温度、转速等多个设备的实时数据。一项工艺一般要进行数个小时，从工艺开始到结束，会产生大量的实时数据以及操作记录。除了在工艺运行前预备的工艺运行方案以外，现场工艺运行中的一些实时操...
【技术保护点】
一种用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法，其特征在于，该方法为：1）将MOCVD工艺数据及对所述MOCVD工艺数据的工艺操作以字符串格式存储在原始数据库中；2）统计所述原始数据库中各MOCVD操作事件出现的次数，保留出现次数不小于最小支持度S的MOCVD操作事件，并记为1维元素，利用所述1维元素生成1维元素集L1；其中，最小支持度S取值范围为2～6；3）将1维元素集L1中的1维元素两两合并，生成2维候选项目集C2；4）计算2维候选项目集C2中的2维元素在原始数据库中的支持度，即统计C2中组成每个2维元素的1维元素在原始数据库各条操作记录中同时出现的次数，删除2维候选项目...
【技术特征摘要】
1.一种用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法，其特征在于，该方法为: 1)将MOCVD工艺数据及对所述MOCVD工艺数据的工艺操作以字符串格式存储在原始数据库中； 2)统计所述原始数据库中各MOCVD操作事件出现的次数，保留出现次数不小于最小支持度S的MOCVD操作事件，并记为I维元素，利用所述I维元素生成I维元素集L1 ;其中，最小支持度S取值范围为2~6 ; 3)将I维元素集L1中的I维元素两两合并，生成2维候选项目集C2； 4)计算2维候选项目集C2中的2维元素在原始数据库中的支持度，即统计C2中组成每个2维元素的I维元素在原始数据库各条操作记录中同时出现的次数，删除2维候选项目集C2中支持度小于最小支持度的2维元素，并将2维候选项目集C2中支持度不小于最小支持度的2维元素记录在2维元素项目集L2中； 5)统计2维元素项目集L2中I维元素的频度，即统计2维元素项目集L2中所有I维元素出现的次数，并删除L2中包含有出现次数小于2的I维元素的2维元素，并用剩余的2维元素组成新的2维元素项目集L21 ； 6)利用新的2维元素项目集L21，根据步骤3)~步骤5)类推，直到生成k维候选项目集Ck，并且利用Ck不能再生成下一维项目集； 7)计算Ck的支持度S(Ck)，即计算Ck中组成每个k维元素的I维元素在原始数据库各条操作记录中同时出现的次数；设Ca为Ck的子集，设Ca中的元素为m维元素，计...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈立宁，林伯奇，肖慧，何华云，罗宏洋，魏唯，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：
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