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本发明公开了一种用于预估MOCVD工艺结果的数据挖掘方法，该方法将MOCVD工艺中写入到日志记录表中的多条操作记录合并、统计，挖掘出其中较为频繁的操作记录集，然后推导出这些记录之间的关联规则，最后根据MOCVD工艺结果的好坏，评估、分析这些...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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