【技术实现步骤摘要】
一种传感器的触发装置
本技术涉及一种传感器的触发装置,尤其涉及一种半导体机台传送舱门传感器的触发装置。
技术介绍
半导体机台传送舱门传感器经常在跑货过程中因没有被触发而造成停机,由于触发传感器的装置上的螺丝在舱门无数次的打开和关闭中产生松动,造成传感器的触发装置无法触发传感器的互锁装置而造成停机,按照正常的维护周期进行维护也容易出现停机,造成维护困难,因此需要设计一种新的传感器的触发装置。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种传感器的触发装置,克服了传感器触发装置无法准确触发传感器、触发装置维护困难的缺陷。本技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种传感器的触发装置,包括滑动杆、螺丝、小模块,所述小模块套设在所述滑动杆上,所述螺丝套设在所述滑动杆上,用于对所述小模块进行固定。进一步,所述滑动杆为阶梯形圆柱体,所述滑动杆的一端为直径均匀的圆柱体,所述滑动杆的另一端直径由中间向端头逐渐变小。进一步,所述滑动杆上沿纵向设有凸块。进一步,所述小模块的内表面上设有与所述滑动杆上的凸块配合的凹槽。本技术的有益效果是:在传感器的触发装置上的螺丝出现松动的情况下也能触发传感器,减少机台停机的情况,传感器的触发装置的结构简单,使传感器的触发装置的维护更方便。【附图说明】图1为本技术的传感器的触发装置示意图;图2为本技术的传感器的触发装置的滑动杆示意图;图3为本技术的传感器的触发装置的小模块示意图;附图中,各标号所代表的部件列表如下:1、机台,2、滑动杆,3、小模块,4、螺丝,5、凸块,6、凹槽。【具体实施方式】以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述,所举实例只用 ...
【技术保护点】
一种传感器的触发装置,其特征在于,包括滑动杆、螺丝、小模块,所述小模块套设在所述滑动杆上,所述螺丝套设在所述滑动杆上,用于对所述小模块进行固定。
【技术特征摘要】
1.一种传感器的触发装置,其特征在于,包括滑动杆、螺丝、小模块,所述小模块套设在所述滑动杆上,所述螺丝套设在所述滑动杆上,用于对所述小模块进行固定。2.根据权利要求1所述的一种传感器的触发装置,其特征在于,所述滑动杆为阶梯形圆柱体,所述滑动杆的一端为直径均...
【专利技术属性】
技术研发人员:张绪彪,蒋子龙,苏晓光,
申请(专利权)人:武汉新芯集成电路制造有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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