固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法技术

本发明专利技术提供一种起泡少且切割性能较高的固定研磨粒线锯(fixed?abrasive?grain?wire?saw)用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。本发明专利技术提供的一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于含有：(a)萜烯环氧烷(terpene?alkylene?oxide)嵌段共聚物；(b)二醇(glyco1)、聚烷二醇(polyalkylene?glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及(c)水。本发明专利技术提供的一种锭的切割方法，其特征在于：使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液，通过固定研磨粒线锯切割硅锭；及本发明专利技术还提供一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于使用固定研磨粒线锯(fixed abrasive grain wire saw)切割硅锭的。
技术介绍
自先前以来，硅的切割是通过使用有游离研磨粒的带锯或线锯而进行。通过使用有游离研磨粒的带锯或线锯而进行的切割存在如下问题:浆液附着于经切割的晶圆上，后续步骤中的清洗负担较重，又，难以自使用液分离出游离研磨粒、淤渣、切割液，回收性较差。针对所述问题，开发出使用电镀或树脂黏合而使研磨粒固定于线上的固定线锯，其具有以下优点:清洗步骤简化或通过将切割液与淤渣分离而回收性提高。作为利用该固定线锯切割硅时所使用的切割液，提出有水或如专利文献I?3的水溶性切割液。专利文献1:日本特开2003— 82334号公报；专利文献2:日本特开2009— 57423号公报；专利文献3:国际公开第2011 / 058929号。
技术实现思路
然而，在使用所述水溶性切割液切割硅的情形中，近年来，为了质量方面及切割速度提高而使线速度加快，其结果是，所用的水溶性切割液起泡，从而存在无法切割出质量良好的晶圆的问题。因此，本专利技术提供一种起泡少且切割性能较高的。为达成以上目的，本专利技术的专利技术人等反复深入研究，结果发现:通过使用含有(a)職烯环氧烧(terpene alkylene oxide)嵌段共聚物、(b) 二醇(glycol)、聚烧二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烧二醇醚中的至少I种、及(c)水的水溶性切割液,即便在使用固定研磨粒线锯的情形中，起泡亦较少，且切割性能较高。即，本专利技术是一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于含有:(a)萜烯环氧烷嵌段共聚物；(b) 二醇、聚烷二醇、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少I种；及(C)水。又，本专利技术是一种锭的切割方法，其特征在于:使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液，通过固定研磨粒线锯切割硅锭；及一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法，其特征在于:在通过该锭切割方法进行锭的切割后，使用离心分离机或过滤装置将固定研磨粒线锯用水溶性切割液自硅分离。如上所述，根据本专利技术可提供一种起泡少且切割性能较高的。【具体实施方式】用于本专利技术的固定研磨粒线锯用水溶性切割液的(a)萜烯环氧烷嵌段共聚物，是使环氧乙烷、环氧丙烷及环氧丁烷中的至少I种，与即为以异戊二烯为构成单元的烃的单職烯(碳数10)、倍半職烯(碳数15)、二職烯(碳数20)、二倍半職烯(碳数25)、三職烯(碳数30)及四萜烯(碳数40)共聚合而得者。其中，尤其优选为与环氧乙烷及环氧丙烷共聚合而得者，其比率优选为相对于上述萜烯I摩尔，环氧乙烷及环氧丙烷分别为3?30摩尔及3?20摩尔。又，(a)的添加量优选为相对于全部切割液为0.01?5.0重量％。若(a)的添加量未达0.01重量％，则不具有消泡效果，又，不具有对切割过程中产生的切割屑进行分散清洗的效果，故而不佳。又，即便超过5.0重量％，与5.0重量％以下的情形时相比，消泡效果及对切割过程中产生的切割屑进行分散清洗的效果亦并不存在差别，5.0重量％以下即可获得充分的消泡效果及对切割过程中产生的切割屑进行分散清洗的效果，因此就降低成本的观点而言，优选为5.0重量％以下。先前以来,作为固定研磨粒线锯用水溶性切割液的消泡剂是使用硅系消泡剂,然而硅系消泡剂存在液体稳定性较差，易变成不均匀的液体的倾向。然而，在本专利技术中，通过使用(a)萜烯环氧烷嵌段共聚物而即便不使用硅系消泡剂，亦可提高消泡效果、及对切割过程中产生的切割屑进行分散清洗的效果，从而提高切割性能。在本专利技术的固定研磨粒线锯用水溶性切割液中，(b) 二醇只要具有两个OH基即可，例如可列举:单乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、单丙二醇、二丙二醇、三丙二醇及2-甲-2，4-戊二醇(hexylene glycol)等。又，作为聚烷二醇，例如可列举:聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧乙烯聚氧丙烯的共聚物、聚氧乙烯聚氧丁烯的共聚物等。又，作为二醇醚，例如可列举:二乙二醇单甲醚、二乙二醇单丁醚及二乙二醇单己醚等。又，作为聚氧乙烯二醇醚，例如可列举:聚氧乙烯甲基醚、聚氧乙烯聚氧丙二醇共聚物的丁基醚等。其等可单独使用I种，亦可将2种以上组合使用。又，(b)的重量平均分子量优选为50?5，000。其原因在于若(b)的重量平均分子量超过5，000，则黏度较高，会对切割性能产生影响。更佳的(b)的重量平均分子量为50?1，000。本专利技术的固定研磨粒线锯用水溶性切割液可根据需要添加(d)分散剂。作为所使用的分散剂，有使聚氧化烯单烧基醚(polyoxyalkylene monoalkyl ether)接枝聚合于烯丙醇、马来酸酐的共聚物而得的多羧酸或其盐；使聚氧化烯单烷基醚接枝聚合于烯丙醇、马来酸酐、苯乙烯的共聚物而得的多羧酸或其盐；及萘磺酸缩合物或其盐等，可使用通常作为分散剂而销售者。(d)分散剂的含量优选为相对于全部切割液为0.1?5.0重量％。若未达0.1重量％，则无法获得分散剂的效果，故而不佳。又，即便超过5.0重量％，与为5.0重量％以下时相比，分散效果亦不存在变化，5.0重量％以下即可获得充分的分散剂效果，因此就降低成本的观点而言，优选为5.0重量％以下。更佳的(d)的含量为0.1?1.0重量％。在本专利技术的固定研磨粒线锯用水溶性切割液中，能以任意比例含有(a)、(b)、(c)及(d)，但就优选的比例而言，(a)、(b)及(d)与(c)的重量比为99:1?50:50。若(c)少于99:1，则切割过程中产生的切割热将导致切割出的晶圆的质量恶化；若(c)多于50:50,则切割过程中产生的硅屑将干燥且附着于切割晶圆上，在后续步骤的清洗步骤中引起清洗不良从而成为问题，并且因水分蒸发而产生黏度变化。更佳的重量比为90:10~50:50。又，本专利技术的固定研磨粒线锯用水溶性切割液亦可根据需要添加防锈剂、防腐剂、香料及染料等。本专利技术的固定研磨粒线锯用水溶性切割液于作为半导体元件或太阳电池材料的硅晶圆的切割中，可使用固定研磨粒线锯作为切割工具，使用多线锯作为切割加工机。本专利技术的固定研磨粒线锯用水溶性切割液在切割后，可使用离心分离机及过滤装置将硅与水溶性切割液分离，从而将其回收。实施例继而，对本专利技术的固定研磨粒线锯用水溶性切割液的实施例进行说明，但本专利技术并不限定于此。首先，根据表1或表2的掺合量利用常用方法将其等进行混合，由此获得实施例I~实施例7的固定研磨粒线锯用水溶性切割液及比较例I~比较例6的固定研磨粒线锯用水溶性切割液。[表 I] 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，含有：(a)萜烯环氧烷(terpene?alkylene?oxide)嵌段共聚物；(b)二醇(glycol)、聚烷二醇(polyalkylene?glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及（c)水。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.10.24 JP 2011-2331961.一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，含有:(a)職烯环氧烧(terpene alkyleneoxide)嵌段共聚物；(b) 二醇(glycol)、聚烧二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烧二醇醚中的至少I种；及((3)水。2.如权利要求1所述的固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其中，该(a)相对于全部切割液为0.01?5.0重量％。3.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木清史，户嵨清斗，
申请(专利权)人：帕莱斯化学株式会社，
类型：
国别省市：