在线系统技术方案

本发明专利技术提供在线系统。在线系统（1）具有：第一装置（2），其具有对被加工物进行处理的第一处理构件（4），以及搬出由第一处理构件（4）处理的被加工物的搬出区域（3a）；第二装置（6），其具有搬入被加工物的搬入区域（7a），以及对被搬入的被加工物进行处理的第二处理构件（8）；以及移送构件（13），其将被加工物从搬出区域（3a）移送到搬入区域（7a），该在线系统具有位置检测构件（14），该位置检测构件（14）对搬出区域（3a）进行摄像，检测搬出区域（3a）的位置，并且对搬入区域（7a）进行摄像，检测搬入区域（7a）的位置。

【技术实现步骤摘要】
在线系统
本专利技术涉及在多个装置间移送被加工物，并在各个装置中进行被加工物的处理的在线系统(inline system)。
技术介绍
在表面形成1C、LSI等多个器件的晶片通过磨削装置磨削背面而形成预定的厚度，然后，通过切割装置将晶片分割成各个器件，被分割的器件用于移动电话机、个人计算机等各种电子设备等。为了进行从晶片的背面磨削到对器件的分割，由本 申请人:提出了以下在线系统(例如，参照专利文献I):通过在线连接磨削装置和切割装置，进行磨削、输送、切割的处理。专利文献1:日本特开平10-284449号公报但是存在以下问题:为了将晶片等被加工物从上游侧的装置搬出并搬入下流侧的装置，要求正确地进行装置的布置，以便可靠地进行被加工物的移送，这相当地耗费时间。此外，在更换或追加装置时，也需要正确地配置装置，十分繁琐。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于这样的问题而完成的，其课题在于，在多个装置间移送被加工物并在各个装置中进行被加工物的处理的在线系统中，即便装置没有被正确地布置，也能够在装置间可靠地移送被加工物。根据本专利技术，提供一种在线系统，该在线系统具有:第一装置，其具有第一处理构件和搬出区域，该第一处理构件对被加工物进行处理，在该搬出区域中，搬出由该第一处理构件处理的被加工物；第二装置，其具有搬入区域和第二处理构件，在该搬入区域中，搬入被加工物，该第二处理构件对被搬入的被加工物进行处理；移送构件，其从该第一装置的搬出区域向该第二装置的搬入区域移送被加工物；以及位置检测构件，其对该第一装置的该搬出区域进行摄像，检测该搬出区域的位置，并且对该第二装置的该搬入区域进行摄像，检测该搬入区域的位置，该移送构件根据由该位置检测构件检测到的该搬出区域的位置和该搬入区域的位置，将被加工物从该搬出区域移送到该搬入区域。在本专利技术中，能够通过位置检测构件对第一装置的搬出区域进行摄像，检测搬出区域的位置，并且对第二装置的搬入区域进行摄像，检测搬入区域的位置，根据所检测到的搬出区域的位置和搬入区域的位置，通过移送构件将被加工物从搬出区域移送到搬入区域，因此，即便没有正确地布置第一装置和第二装置，也能够可靠地将被加工物从第一装置的搬出区域移送到第二装置的搬入区域【附图说明】图1是示出在线系统的一例的立体图。图2是示出X-Y坐标系中的搬出区域和搬入区域的位置的一例的说明图。图3是示出存储部的存储内容的说明图。图4是示出晶片和保护部件的立体图。图5是示出粘贴了保护部件的晶片的立体图。标号说明1:在线系统2:磨削装置(第一装置)3:保持台3a:搬出区域3b:磨削区域30:盖台 300:标记4:第一处理构件40:旋转轴41:外壳42:电动机43:轮座44:磨轮45:磨削磨具5:磨削进给构件50:滚珠丝杠51:导轨52:电动机53:升降板54:保持器6:激光加工装置(第二装置)7:保持台7a:搬入区域7b:加工区域70:盖台 700:标记8:第二处理构件80:加工头81:基台82:摄像部9:加工进给构件90:滚珠丝杠91:导轨92:电动机93:滑板10:Y方向调整构件100:滚珠丝杠101:导轨102:脉冲电动机103:移动基台104:圆筒基台105:盖台11:Υ方向进给构件110:滚珠丝杠111:导轨112:脉冲电动机113:移动基台12:Ζ方向进给构件120:滚珠丝杠121:导轨122:脉冲电动机123:移动基台13:移送构件130:轴部131:臂部132:保持部133:相机134:控制部135:存储部14:位置检测构件【具体实施方式】图1所示的在线系统I由作为第一装置的磨削装置2和作为第二装置的激光加工装置6构成。在I个三维的X-Y-Z坐标空间中识别这些磨削装置2和激光加工装置6所具有的各部位的位置。磨削装置2构成为具有:保持被加工物的保持台3 ;第一处理构件(磨削单元)4，其对保持台3所保持的被加工物进行磨削加工的处理；以及磨削进给构件5，其使第一处理构件4相对于保持台3所保持的被加工物接近和远离。保持台3能够旋转，并且能够在Y轴方向近前侧的搬出区域3a与Y轴方向里侧的磨削区域3b之间进行移动。在此，搬出区域3a是对由第一处理构件4进行了磨削加工处理后的被加工物进行搬出的区域，磨削区域3b是进行基于第一处理构件4的磨削加工处理的区域。在保持台3的周围配设有盖台30，在盖台30的Y轴方向前部侧和后部侧连接有伸缩自如的褶皱保护罩31。盖台30上形成有标记300，作为在对保持台3摄像时的记号。第一处理构件4构成为具有:具有Z轴方向的轴心的旋转轴(心轴)40 ;以可旋转的方式支撑旋转轴40的外壳41 ;驱动旋转轴40旋转的电动机42 ;安装在旋转轴40的下端的轮座43 ；以及安装在轮座43上的磨轮44。在磨轮44的下表面环状地固定有多个磨削磨具45。在第一处理构件4中构成为，当电动机42使旋转轴40旋转时，磨轮44也旋转。磨削进给构件5构成为具有:具有Z轴方向的轴心的滚珠丝杠50 ;与滚珠丝杠50平行地配设的一对导轨51 ;与滚珠丝杠50的一端连接的脉冲电动机52 ;升降板53，其与导轨51滑动接触，并且在内部具备的未图示的螺母与滚珠丝杠50螺合；以及保持与升降板53连接的外壳41的保持器54。磨削进给构件5构成为，当通过脉冲电动机52使滚珠丝杠50旋转时，在导轨51上引导升降板53使其升降，由保持器54保持的第一处理构件(磨削单元)4进行升降。激光加工装置6具有保持被加工物的保持台7，以及对保持台7所保持的被加工物实施激光加工的处理的第二处理构件(激光束照射构件)8。保持台7以可在X轴方向上移动的方式支撑于加工进给构件9，保持台7可以在X轴方向近前侧的搬入区域7a与X轴方向里侧的加工区域7b之间移动。在此，搬入区域7a是进行激光加工处理的被加工物被搬入的区域，加工区域7b是进行第二处理构件8的激光加工处理的区域。保持台7以可在X轴方向上移动的方式支撑于加工进给构件9，并且以可相对于X轴方向在与水平方向正交的Y轴方向上移动的方式支撑于Y方向调整构件10。此外，第二处理构件8以可在Y轴方向上移动的方式支撑于Y方向进给构件11，并且以可在Z轴方向上移动的方式支撑Z方向进给构件12。加工进给构件9构成为具有:具有X轴方向的轴心的滚珠丝杠90 ;与滚珠丝杠90平行地配设的一对导轨91 ;与滚珠丝杠90的一端连接的电动机92 ;以及滑板93，其下部与导轨91滑动接触，并且未图示的内部的螺母与滚珠丝杠90螺合，加工进给构件9构成为，伴随电动机92驱动滚珠丝杠90旋转，滑板93在导轨91上在X轴方向上移动。在滑板93上配设有使保持台7在Y轴方向上移动的Y方向调整构件10。Y方向调整构件10构成为具有:具有Y轴方向的轴心的滚珠丝杠100 ;与滚珠丝杠100平行地配设的一对导轨101 ;与滚珠丝杠100的一端连接的脉冲电动机102 ;以及移动基台103，其未图示的内部的螺母与滚珠丝杠100螺合，并且下部与导轨101滑动接触，Y方向调整构件10构成为，伴随脉冲电动机102驱动滚珠丝杠100旋转，移动基台103在导轨101上在Y轴方向上移动。移动基台103与圆筒基台104连接，构成为通过圆筒基台104的内部具备的脉冲电动机驱动保持台7旋转。在保持台7本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在线系统，其具有：第一装置，其具有第一处理构件和搬出区域，该第一处理构件对被加工物进行处理，在该搬出区域中，搬出由该第一处理构件进行了处理的被加工物；第二装置，其具有搬入区域和第二处理构件，在该搬入区域中，搬入被加工物，该第二处理构件对被搬入的被加工物进行处理；移送构件，其从该第一装置的搬出区域向该第二装置的搬入区域移送被加工物；以及位置检测构件，其对该第一装置的该搬出区域进行摄像，检测该搬出区域的位置，并且对该第二装置的该搬入区域进行摄像，检测该搬入区域的位置，该移送构件根据由该位置检测构件检测到的该搬出区域的位置和该搬入区域的位置，将被加工物从该搬出区域移送到该搬入区域。

【技术特征摘要】
2012.08.15 JP 2012-1800701.一种在线系统，其具有: 第一装置，其具有第一处理构件和搬出区域，该第一处理构件对被加工物进行处理，在该搬出区域中，搬出由该第一处理构件进行了处理的被加工物； 第二装置，其具有搬入区域和第二处理构件，在该搬入区域中，搬入被加工物，该第二处理构件对...

【专利技术属性】
技术研发人员：关家一马，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：