一种硅片冲洗装置制造方法及图纸

技术编号:9675474 阅读:75 留言:0更新日期:2014-02-15 01:08
本实用新型专利技术涉及一种硅片生产过程中,对硅片进行清洗的硅片冲洗装置,包括清洗槽、储水罐、对储水罐中的水进行输送的输送装置,以及位于清洗槽上方的旋转装置,旋转装置包括支架、固定设置在支架上的驱动电机、固定连接在驱动电机输出轴上的转轴,以及固定连接在转轴下端的旋转平台,所述旋转平台位于清洗槽内,输送装置的输出端位于旋转平台的上方。本实用新型专利技术结构简单,不需要频繁换水,能够对硅片进行彻底清洗,同时无需人工操作、提高了清洗效率。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
一种硅片冲洗装置
本技术涉及硅片生产辅助设备
,具体涉及一种硅片生产过程中,对硅片进行清洗的硅片冲洗装置。
技术介绍
在单晶硅生产过程中,需要对硅片进行清洗,现有的清洗设备,只是采用一个清洗槽,将硅片放置在清洗槽中并添加清洗水,由人工对硅片进行清洗,清洗槽中的水不能流动,需要频繁的换水,不能对硅片进行彻底的清洗,同时采用人工清洗其效率较低。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术提供一种硅片冲洗装置,其结构比较简单,不需要频繁换水,能够对硅片进行彻底清洗,同时能够提高清洗效率。实现本技术的技术方案如下:一种硅片冲洗装置,包括清洗槽,还包括储水罐、对储水罐中的水进行输送的输送装置,以及位于清洗槽上方的旋转装置,旋转装置包括支架、固定设置在支架上的驱动电机、固定连接在驱动电机输出轴上的转轴,以及固定连接在转轴下端的旋转平台,所述旋转平台位于清洗槽内,输送装置的输出端位于旋转平台的上方。所述清洗槽内设置有对清洗槽内的水位进行检测的液位传感器,液位传感器与控制输送装置工作的控制器连接,所述清洗槽的槽壁设有排水管,排水管与清洗槽内相连通,所述排水管上设有电磁阀,所述电磁阀与控制器连接。液位传感器检测到清洗槽内的清洗水达到设定的值时,就会向控制器发送动作信号,控制器控制电磁阀打开,从而将清洗槽内的水排出。所述输送装置包括进水端与储水罐内部连通的抽水泵,抽水泵的出水端连接有出水管,其出水管的出水端位于旋转平台上方。所述出水管的出水端连接有喷头。所述旋转平台上端面周边设置有挡边,防止旋转平台上的硅片在旋转过程中,从旋转平台上滑落。采用了上述方案,将需要清洗的硅片放置在旋转平台上,启动支架上的驱动电机工作带动旋转平台旋转,再有控制器控制抽水泵工作,将储水罐中的水抽出并输送到旋转平台的上方对硅片进行清洗。本技术结构简单,不需要频繁换水,能够对硅片进行彻底清洗,同时无需人工操作、提高了清洗效率。【附图说明】图1为本技术的结构示意图;图中,I为清洗槽,2为储水罐,3为支架,4为驱动电机,5为转轴,6为旋转平台,7为挡边,8为液位传感器,9为控制器,10为排水管,11为电磁阀,12为抽水泵,13为出水管,14为嗔头。【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本技术进一步说明。参见图1,一种硅片冲洗装置,包括清洗槽1、储水罐2、对储水罐中的水进行输送的输送装置,以及位于清洗槽上方的旋转装置,旋转装置包括支架3、固定设置在支架上的驱动电机4、固定连接在驱动电机输出轴上的转轴5,以及固定连接在转轴下端的旋转平台6,旋转平台位于清洗槽I内,输送装置的输出端位于旋转平台6的上方,在旋转平台上端面周边设置有挡边7。其中,清洗槽内设置有对清洗槽内的水位进行检测的液位传感器8,液位传感器8与控制输送装置工作的控制器9连接,清洗槽的槽壁设有排水管10,排水管与清洗槽内相连通,所述排水管上设有电磁阀11,所述电磁阀11与控制器9连接。其中,输送装置包括进水端与储水罐2内部连通的抽水泵12,抽水泵12的出水端连接有出水管13,其出水管13的出水端位于旋转平台6上方。出水管的出水端连接有喷头14。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片冲洗装置,包括清洗槽,其特征在于:还包括储水罐、对储水罐中的水进行输送的输送装置,以及位于清洗槽上方的旋转装置,旋转装置包括支架、固定设置在支架上的驱动电机、固定连接在驱动电机输出轴上的转轴,以及固定连接在转轴下端的旋转平台,所述旋转平台位于清洗槽内,输送装置的输出端位于旋转平台的上方。

【技术特征摘要】
1.一种硅片冲洗装置,包括清洗槽,其特征在于:还包括储水罐、对储水罐中的水进行输送的输送装置,以及位于清洗槽上方的旋转装置,旋转装置包括支架、固定设置在支架上的驱动电机、固定连接在驱动电机输出轴上的转轴,以及固定连接在转轴下端的旋转平台,所述旋转平台位于清洗槽内,输送装置的输出端位于旋转平台的上方。2.根据权利要求1所述的一种硅片冲洗装置,其特征在于:所述清洗槽内设置有对清洗槽内的水位进行检测的液位传感器,液位传感器与控制输送装置工作的控制器连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:周建国夏利荣
申请(专利权)人:常州市立威刀具有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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