【技术实现步骤摘要】
—种挡光式微机电可变光衰减器
本专利技术涉及光电
，尤其涉及一种可变光衰减器，该可变光衰减器可用于使输入到其中的光强度产生可控的衰减。
技术介绍
随着通信业务量的飞速增长，业务形式的多样化，全光网络已成为现在通信网络的发展趋势。光网络实用化需要解决的关键问题之一是各波长通道间的功率不均衡，许多场合需要减少光信号的功率。光衰减器(Optical Attenuator, 0A)是一种可以在外部激励(机械、电力、磁力等)作用下，实现光学元件运动或光学状态的改变，从而改变光的传输效率，达到输出光功率相对于输入光功率衰减的器件。光衰减器作为一种重要的无源光功率调整器件，可以在光网络中产生可控的衰减，与其他器件匹配很好地实现光增益平坦、动态增益平衡以及传输功率均衡。光衰减器可分为固定式光衰减器和可变光衰减器(Variable OpticalAttenuator, V0A)两种形式。目前固定式光衰减器价格较低，用以平衡光能量，但是由于衰减量不能调节，不能实现对信号的动态控制；相对地，可变光衰减器在发展上较具优势，衰减量可以改变，能主动精确平衡光功率，对信号实现...
【技术保护点】
一种挡光式微机电可变光衰减器，其包括：输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路；固定遮光板中心具有通光孔，驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合，可动MEMS器件中心具有运动遮光板，磁场产生装置为中心漏空结构，且可动MEMS器件6和磁场产生装置8的中心与通光孔2的中心位于同一轴线；其中，光从输入光纤输入，通过固定遮光板的通光孔后，再经可动MEMS器件产生可控的光衰减后，由输出光纤输出；所述磁场产生装置提供与光束平行的轴向磁场，与通过可动MEMS器件的电流相互作用产生洛伦兹力，驱动所述运动遮光板产生运动。
【技术特征摘要】
1.一种挡光式微机电可变光衰减器，其包括:输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路；固定遮光板中心具有通光孔，驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合，可动MEMS器件中心具有运动遮光板，磁场产生装置为中心漏空结构，且可动MEMS器件6和磁场产生装置8的中心与通光孔2的中心位于同一轴线； 其中，光从输入光纤输入，通过固定遮光板的通光孔后，再经可动MEMS器件产生可控的光衰减后，由输出光纤输出；所述磁场产生装置提供与光束平行的轴向磁场，与通过可动MEMS器件的电流相互作用产生洛伦兹力，驱动所述运动遮光板产生运动。2.如权利要求1所述的一种挡光式微机电可变光衰减器，其特征在于:所述固定遮光板和可动MEMS器件位于输入光纤和输出光纤之间,所述输出光纤端口与输入光纤I端口相对，且它们的中心位于同一轴线上；光束从输入光纤发射后，经过自由传播可以进入输出光纤，实现光信号输出，形成完整的光通路；通过控制可动MEMS器件的运动遮光板和固定遮光板的通光孔之间的关系，可以对进入输出光纤的光信号强弱进行控制，实现可控光衰减。3.如权利要求1所述的一种挡光式微机电可变光衰减器，其特征在于:所述固定遮光板3为硅片、玻璃片或其它材料，表面镀有反光膜；表面的反光膜为具有反光性能的薄膜材料；所述开通光孔的...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛旭，吕兴东，魏伟伟，杨晋玲，杨富华，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
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