温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器，其包括：输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路；固定遮光板中心具有通光孔，驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合，可动MEMS器件中心具有运动遮光...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。