【技术实现步骤摘要】
一种气动阀门控制装置
本技术涉及一种气动阀门控制装置，用于半导体化学品制程的自动化设备中。
技术介绍
当前，在半导体制造涉及化学品的制程中，机台管路的流量都通过气动阀门控制，当系统关机或机台断电时，所有的气动阀门都将自动关闭，所有的产品停止制程并将滞留在没有化学循环的化学品槽中，这将对产品产生严重影响。如图1所示，附图1为现有技术机台端的化学品槽正常情况下的制程简图，在正常情况下，通过气动阀门的启闭，控制管路流量，实现化学品槽207的正常制程，包括:化学品供应，化学品流量循环，化学品排放；所述气动阀门包括:化学品供应管道气动阀门208，排酸/循环管道气动阀门一 201和排酸管道气动阀门二 202。当遇到系统关机或机台断电情况，所有的气动阀门都将自动关闭，所有的产品204停止制程并将滞留在没有循环的化学品槽207里。因此，对于涉及化学品制程的产品，如何解决在系统关机或机台断电的情况下，实现对于涉及化学品制程的产品的安全处理就很有必要了。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种气动阀门控制装置，可以在自动化设备遇到系统关机或机台断电时，通过...
【技术保护点】
一种气动阀门控制装置，其特征在于：包括截止阀门一，截止阀门二，截止阀门三，三通管一，三通管二和面板，三通管一的三个管接头分别与截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三的一端相连接，截止阀门二的另一端与三通管二的一个管接头相连接，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三固定在面板上。
【技术特征摘要】
1.一种气动阀门控制装置，其特征在于:包括截止阀门一，截止阀门二，截止阀门三，三通管一，三通管二和面板，三通管一的三个管接头分别与截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三的一端相连接，截止阀门二的另一端与三通管二的一个管接头相连接，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三固定在面板上。2.根据权利要求1所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述面板上设置有阀门支架，所述截止阀门一，所述截止阀门二和所述截止阀门三通过所述阀门支架固定在所述面板上。3.根据权利要求1所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述截止阀门一的另一端上连接有气体管路一，所述截止阀门三的另一端上连接有气体管路二。4.根据权利要求3所述的一种气动阀门控制装置，其特征在于，所述气体管路一和所述气体管路二，均由不锈钢管路、快速接...
【专利技术属性】
技术研发人员：董新杰，王怀锋，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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