光学检测装置制造方法及图纸

一种光学检测装置，包括一电路板、一固定基板、至少一镜头容置座、至少一位置调整部以及至少一探针模块。该电路板，具有至少一第一通孔。固定基板设置于该电路板的一上表面或一下表面，固定基板具有至少一第二通孔，每一第二通孔分别与每一第一通孔相对应。至少一镜头容置座分别容置于该至少一第二通孔内，每一镜头容置座具有一容置槽，以提供容置一镜头。该至少一位置调整部分别对应每一第二通孔以及每一镜头容置座且与该固定基板以及对应的镜头容置座相耦接，每一位置调整部使对应的该镜头容置座于对应的第二通孔内进行一位置调整运动。该至少一探针模块，其设于该固定基板底面，且分别与每一镜头容置座相对应，每一探针模块具有多个探针。

Optical inspection device

An optical detecting device comprises a circuit board, a fixed substrate, at least a lens holding seat, at least one position adjusting part and at least one probe module. The circuit board has at least one first through hole. The fixed substrate is arranged on an upper surface or a surface of the circuit board, and the fixed substrate has at least one second through hole, each of the second through holes respectively corresponding to each first through hole. At least one lens holding seat is respectively held in the at least one second through hole, each lens holding seat is provided with a containing slot to provide a lens to be accommodated. The at least one position adjustment part corresponding to each of the second through holes and each lens holder and the fixing substrate and the corresponding lens holder is coupled, each department to make the corresponding adjustment of the position of the lens holder corresponding to the second through hole in a position adjusting movement. The at least one probe module is arranged on the bottom surface of the fixed substrate and is corresponding to each lens accommodating seat, each probe module has a plurality of probes.

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种光学检测装置，包括一电路板、一固定基板、至少一镜头容置座、至少一位置调整部以及至少一探针模块。该电路板，具有至少一第一通孔。固定基板设置于该电路板的一上表面或一下表面，固定基板具有至少一第二通孔，每一第二通孔分别与每一第一通孔相对应。至少一镜头容置座分别容置于该至少一第二通孔内，每一镜头容置座具有一容置槽，以提供容置一镜头。该至少一位置调整部分别对应每一第二通孔以及每一镜头容置座且与该固定基板以及对应的镜头容置座相耦接，每一位置调整部使对应的该镜头容置座于对应的第二通孔内进行一位置调整运动。该至少一探针模块，其设于该固定基板底面，且分别与每一镜头容置座相对应，每一探针模块具有多个探针。【专利说明】光学检测装置
本专利技术为一种检测装置，尤其是指一种通过调整机构直接调整镜头容置座进行位移运动的光学检测装置。
技术介绍
现有的晶圆测试是通过一探针卡接触位于晶圆上的金属焊垫，通过探针卡传递并量测来自测试机的测试信号，以获知积体电路每一工艺、步骤之间的连线可靠度和导通性，并可快速地判读或改正造成电路缺陷的工艺参数或步骤，进一步提升工艺良率(yield)。一般而言，如图1A所示，该图为现有的晶圆测试机构示意图，在现有技术中，该晶圆测试机构具有一固定基板4，其上具有多个通孔41。每一个通孔41分别容置有一镜头容置座11。每一镜头容置座11内具有凹槽，以提供一镜头12以螺牙121与该凹槽内部相螺接。在现有技术中，存在几个待解决的问题，首先为调整镜头不易，由于镜头具有焦距，因此在检测过程中需要调整镜头的焦距才可以产生清晰的影像，不过现有技术要对镜头焦距进行微调时需要通过镜头12表面与容置座11间的螺牙121的协助来改变镜头12在垂直方向的位置，这使得调整的手续变得相当不方便，进而会影响检测的效率。其次由于镜头容置座11凹槽的壁面的螺牙与镜头12本身的螺牙间具有背隙之故，因此往往会造成镜头位置调整上的误差，而影响光学成像的效果。此外如图1B所示，为了加强光学检测时光学检测的效果，在现有技术中，会在镜头容置座50上方设置一基材51，其具有多个与镜头52相对应的通孔53以及在每一通孔53上设置扩散片54(diffuser)用以均匀分布光线。接着，再利用固定与补强结构55来固持扩散片54。不过在该技术中，每当针对不同待测物(device under test, DUT),而需要调整镜头52焦距时，需要将固定与补强结构55以及扩散片54拆除，再旋转镜头52以调整焦距位置，如此增加了检测作业的繁杂度。综合上述，因此亟需一种光学检测装置来解决现有技术所产生的问题。
技术实现思路
本专利技术的一目的在提供一种光学检测装置，通过镜头容置座所具有的螺牙以及镜头容置座顶部至少一调整槽的设置，再通过调整治具来调整镜头容置座的位置，以简化调整镜头容置座位置的方式。本专利技术的一目的在提供一种光学检测装置，通过镜头容置座上具有一挠性环，故可以减少镜头容置座滑动。本专利技术的一目的在提供一种光学检测装置，通过镜头容置座于容置槽的槽口上表面以及相对于固定基板上的第二通孔的外侧表面更分别具有刻度以及指示标记，故可以了解及确认镜头容置座已进行位置调整运动的位移。本专利技术的一目的在提供一种光学检测装置，由于镜头容置座上不需设置法兰(flange)结构，故可以进而缩小整体镜头容置座的体积。本专利技术的一目的在提供一种光学检测装置，其具有可以拆卸的光学调制元件用以对光线进行调制，例如:将光线均匀扩散或滤除杂光。此外，该镜头调制机构更可以在不拆卸光学调制元件的情况下直接调整镜头的焦距。为了达到上述的目的，本专利技术提供一种光学检测装置，包括一电路板、一固定基板、至少一镜头容置座、至少一位置调整部以及至少一探针模块。该电路板，其具有至少一第一通孔。该固定基板，其设置于该电路板的一上表面或一下表面，该固定基板具有至少一第二通孔，每一第二通孔分别与每一第一通孔相对应。该至少一镜头容置座，其分别容置于该至少一第二通孔内，每一镜头容置座具有一容置槽，以提供容置一镜头。该至少一位置调整部，其分别对应每一第二通孔以及每一镜头容置座且与该固定基板以及对应的镜头容置座相耦接，每一位置调整部使对应的该镜头容置座于对应的第二通孔内进行一位置调整运动。该至少一探针模块，其设于该固定基板底面，且分别与每一镜头容置座相对应，每一探针模块具有多个探针。其中，其更具有一挠性环，套设于该至少一镜头容置座上。其中，该至少一镜头容置座上具有一槽体，以及该挠性环套设于该槽体内。其中，该至少一镜头容置座的上表面更具有至少一调整槽。其中，该固定基板设置于该电路板的该下表面；以及其中该光学检测装置更具有:一第一螺牙，其形成于该至少一第二通孔的内壁；以及一第二螺牙，其形成于该至少一镜头容置座的表面以与该第一螺牙相螺接。其中，该固定基板设置于该电路板的该上表面；以及其中该光学检测装置更具有:一第一螺牙，其形成于该至少一第二通孔的内壁；以及一第二螺牙，其形成于该至少一镜头容置座的表面以与该第一螺牙相螺接。其中，其更具有一挠性环，套设于该镜头容置座上，该至少一第二通孔的外围更形成有一凹槽，该挠性环的外径大于或等于对应该凹槽内壁的口径。其中，其更具有一挠性环，套设于该镜头容置座上，该挠性环的外径大于或等于对应该至少一第一通孔内壁的孔径。其中，其更具有一补强板，其相对于该固定基板设置，且连接于该电路板的该上表面，该补强板具有与该至少一第二通孔以及该至少一第一通孔相对应的一第一贯孔，该光学检测装置更具有一挠性环，套设于该至少一镜头容置座上，该挠性环的外径大于或等于对应该第一贯孔内壁的孔径。其中，该至少一镜头容置座上环设有一斜面，其由该至少一镜头容置座的上表面向该容置槽内倾斜，以增加该至少一镜头容置座的开口面积。其中，该镜头容置座的上表面更具有至少一刻度或至少一指示标记。其中，其更包括有至少一光学调制元件，其通过一固定机构可拆卸式地连接于该容置槽内。其中，该容置槽的壁面具有一第一凸部，其是提供支撑该至少一光学调制元件。其中，该至少一光学调制元件更具有一顶面、一底面以及环接于该顶面与底面的一侧面，该底面抵靠于该第一凸部上。其中，该至少一光学调制元件的侧面与该容置槽的壁面为紧密配合。其中，该壁面上与该至少一光学调制元件的侧面间具有至少一个挟持槽。其中，该固定机构更包括有:至少一个固定槽，其形成于该容置槽的壁面上且与该至少一光学调制元件的侧面相对应；以及至少一个镶嵌件，其分别嵌入于该至少一个固定槽内以提供固定该光学调制元件。其中，每一镶嵌件的厚度是大于等于对应固定槽的底面与该至少一光学调制元件的侧面间的距离。其中，该至少一镶嵌件为一导磁金属材质，每一固定槽两侧具有一磁性体，其设置于该至少一光学调制元件的侧面与该容置槽外壁之间。其中，该至少一镜头容置座的上表面更具有至少一调整槽，其中该至少一镜头容置座的上表面至该至少一调整槽的底面具有一第一高度，该至少一镜头容置座的上表面至该至少一光学调制元件的顶面具有一第二高度，该第二高度大于该第一高度。其中，该固定基板更具有多个弹簧针，该多个弹簧针设置于该固定基板内，该固定基板设置于该电路板的该下表面；以及该探针模块设置于该固定基板的该下表面，该探针模块的多个探针为垂直悬臂探针，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学检测装置，其特征在于，包括：一电路板，其具有至少一第一通孔；至少一镜头调整机构，包括有：一固定基板，其设置于该电路板的一上表面或一下表面，该固定基板具有至少一第二通孔，每一第二通孔分别与每一第一通孔相对应；至少一镜头容置座，其分别容置于该至少一第二通孔内，每一镜头容置座具有一容置槽，以提供容置一镜头，该至少一镜头容置座通过一位置调整运动改变在该至少一第二通孔内的位置；以及至少一探针模块，其设于该固定基板的一下表面或该电路板的该下表面，且分别与每一镜头容置座相对应，每一探针模块具有多个探针与该电路板电性连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：蔡锦溢，张嘉泰，余陈志，赖建彰，杨金田，杨惠彬，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：