隔膜阀制造技术

一种隔膜阀，在隔膜阀中，具有隔膜的阀体组装在阀套中，并且隔膜阀执行开启和关闭操作，以在第一流路和第二流路连通的状态与阻止第一流路和第二流路连通的状态之间切换，隔膜阀包括：中空阀体，设置成能在阀套中在轴向方向上往复地移动，并且中空阀体形成有将第一流路和第二流路彼此连通的连通流路；第一隔膜，设置于中空阀体的一个端部；第二隔膜，设置于中空阀体的另一个端部并经由中空阀体与第一隔膜联动；阀座块，设置于阀套中，阀座块具有阀座部，中空阀体与阀座部抵接；第一锥形突起，设置于阀座块，第一锥形突起突出到连通流路中；以及第二锥形突起，设置于阀座块，第二锥形突起突出到第一流路中。

Diaphragm valve

A diaphragm valve in the diaphragm, the diaphragm valve is assembled on the valve sleeve, and diaphragm valves perform opening and closing operation, to switch between connected at a first channel and a second channel state and stop the first flow path and a second flow path connected state, diaphragm valve comprises a hollow valve set be at the valve sleeve in the axial direction on the reciprocating movement, and the hollow body is formed with a first flow path and second flow path is communicated with each other connected flow path; the first diaphragm, one end is arranged in a hollow body; second diaphragm, the other end is arranged in a hollow body and through hollow linkage the valve body and the first diaphragm seat; block arranged on the valve cover, valve seat block has a seat portion of the valve body and the valve seat, the hollow part is bunted; the first conical projection arranged on the valve seat, the first block, the conical projection projecting into the flow path connected The second tapered projections are disposed on the valve seat block and the second cone protrusion protrudes into the first flow path.

【技术实现步骤摘要】
隔膜阀本申请是分案申请，其母案申请的申请号为201080036981.5 (国际申请号为PCT/JP2010/058561)，申请日为2010年5月20日，专利技术名称为“隔膜阀”。
本专利技术涉及一种隔膜阀，所述隔膜阀具有设置有隔膜的阀体，并且操作所述隔膜阀以开启/关闭流路。
技术介绍
对于作为方向控制阀以控制流体的流动方向的开启/关闭控制阀，已知将流体供应至流体线路(fluid circuit)并停止供应的流路切换阀(B卩，双向阀)以及允许流体在一个方向上流动并阻止流体在另一个方向上流动的止回阀(即，单向阀)。对于这种开启/关闭控制阀，已知包括作为阀体的隔膜的隔膜阀。作为一个实例，在专利文献I和2中公开了隔膜开启/关闭控制阀，并且在专利文献3中公开了隔膜止回阀。当将具有隔膜型阀体的开启/关闭控制阀用在流体线路中时，可将在流体线路中流动的流体与用于驱动阀体的驱动部分分开。由于在流体线路中能将该流体与该驱动部分分开，例如，以用于从喷嘴中排放诸如光致抗蚀剂液体的化学制品，因此可防止外来物质从驱动部分流入到化学制品中。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利申请特许公开N0.H09-217843专利文献2:日本专利N0.4146535专利文献3:日本专利申请特许公开N0.2001-41333本专利技术的公开本专利技术要解决的问题当起动开启/关闭控制阀的阀体时，阀体在连通流路中移动，从而阀体使连通流路中的流体在起动阀体时移动，例如，当通过朝着阀座移动阀体而关闭连通流路时，流体反向流动。因此，在专利文献I所描述的双向阀中，阀套设置有使隔膜的中央部分变形的用于开启/关闭的挤压件以及使隔膜的外围部分变形的补充挤压件。当通过隔膜开启/关闭阀口时，隔膜防止连通流路的容积变化。然而，当通过隔膜开启/关闭阀口以导致用于开启/关闭的挤压件和补充挤压件使隔膜的两个不同部分变形时，需要将两个活塞组装在阀套中，以驱动相应的部分。另一方面，在专利文献2所描述的流体控制设备中，面向形成有连通流路的圆柱形体的一个端部的隔膜型阀体和面向圆柱形体的另一个端部的隔膜型容积调节体布置成彼此分离。当起动阀体时，容积调节体由布置在阀套的外侧上的接合件驱动。如此，阀室的容积变化在起动阀体时被容积调节室抵消，从而防止流体在流体线路中反向流动。然而，遇到了这样一个问题，即，为了使阀体与容积调节体彼此分离并独立地操作它们，需要设置接合件，以覆盖阀套，从而不可能缩小流体控制设备的尺寸。而且，复杂的连通流路造成流体的压力损失增大。本专利技术的一个目的在于在使流体线路中的流体不移动的情况下开启/关闭阀体。本专利技术的另一目的在于缩小隔膜阀的尺寸。本专利技术的又一目的在于减少隔膜阀的连通流路中的压力损失、紊流等。解决问题的手段在根据本专利技术的隔膜阀中，具有隔膜的阀体组装在阀套中，隔膜阀执行开启和关闭操作，以在第一流路和第二流路连通的状态与阻止第一流路和第二流路连通的状态之间切换。隔膜阀包括:中空阀体，所述中空阀体设置成能够在阀套中在轴向方向上执行往复操作，并且所述中空阀体形成有连通流路，第一流路和第二流路通过所述连通流路彼此连通；第一隔膜，所述第一隔膜设置于中空阀体的一个端部；以及第二隔膜，所述第二隔膜设置于中空阀体的另一个端部并经由中空阀体与第一隔膜联动，其中，通过使中空阀体在轴向方向上移动，中空阀体与设置于阀套的阀座部抵接以关闭连通流路。在根据本专利技术的隔膜阀中，阀套设置有具有阀座部的阀座块。在根据本专利技术的隔膜阀中，阀套设置有用于使中空阀体在轴向方向上往复的驱动装置。在根据本专利技术的隔膜阀中，设置于阀套以能够在与中空阀体的移动方向平行的轴向方向上执行往复运动的往复件接合至中空阀体，并且阀套中设置有用流体压力驱动往复件的活塞。在根据本专利技术的隔膜阀中，中空阀体设置有偏压件，所述偏压件在朝着阀座部的方向上施加偏压力，当由第一流路中的流体施加给第一隔膜的开启方向推力大于关闭方向推力时，所述关闭方向推力为偏压件的偏压力与由第二流路中的流体的压力施加给第二隔膜的推力之和，中空阀体与阀座部分离以开启连通流路，并且当开启方向推力小于关闭方向推力时，中空阀体与阀座部抵接以关闭连通流路。在根据本专利技术的隔膜阀中，第二隔膜的外径设为大于第一隔膜的外径，当由第一流路中的流体施加给第一隔膜的开启方向推力大于由第二流路中的流体施加给第二隔膜的关闭方向推力时，中空阀体与阀座部分离以开启连通流路，并且当开启方向推力小于关闭方向推力时，中空阀体与阀座部抵接以关闭连通流路。本专利技术的效果根据本专利技术，由于隔膜设置于形成有连通流路的中空阀体的相应端部，并且中空阀体被悬置，以可在阀套中由于隔膜而在轴向方向上移动，当中空阀体与阀座部抵接时，关闭连通流路，而当中空阀体与阀座部分离时，开启连通流路。当中空阀体开启/关闭连通流路时，设置于中空阀体的端部的隔膜彼此同步地弹性变形，从而防止隔膜阀中的流体响应于用于开启/关闭的中空阀体的移动而改变容积。因此，可防止流体线路中的流体响应于用于开启/关闭的中空阀体的移动而移动。由于连通流体路径与中空阀体构成直线通路，所以可防止在流体线路中出现压力损失或流体的扰动。由于隔膜设置于中空阀体的两个端部并且隔膜与中空阀体同步地弹性变形，所以隔膜阀直接由中空阀体驱动。因此，可缩小隔膜阀的尺寸。图的简要说明图1 (A)为示出了根据本专利技术的一个实施例的隔膜阀中的流路的关闭状态的剖视图；图1 (B)为示出了流路的开启状态的剖视图；图2为沿着图1 (A)中的线2-2截取的剖视图；图3为从图2中的箭头3的方向看到的侧视图；图4为沿着图1 (A)中的线4-4截取的剖视图；图5为沿着图1 (A)中的线5-5截取的剖视图；图6 (A)为示出了其中容纳有图1 (A)和图1 (B)中所示的隔膜单元的外壳的透视图；图6 (B)为沿着图6 (A)中的线6B-6B截取的剖视图；图7为示出了根据本专利技术的另一个实施例的隔膜阀的剖视图；图8 (A)为示出了根据本专利技术的又一个实施例的隔膜阀的纵向剖视图；图8 (B)为沿着图8 (A)中的线8B-8B截取的横截面图；图9 (A)为示出了根据本专利技术的再一个实施例的隔膜阀的横截面图；图9 (B)为沿着图9 (A)中的线9B-9B截取的剖视图；图10 (A)为示出了根据本专利技术的另一个实施例的隔膜阀中的流路的关闭状态的首丨J视图;图10 (B)为示出了其流路的开启状态的剖视图；图10 (C)为沿着图10 (A)中的线10C-10C截取的剖视图；图11 (A)为示出了根据本专利技术的又一个实施例的隔膜阀中的流路的关闭状态的首丨J视图;图11 (B)为示出了其流路的开启状态的剖视图；以及图11 (C)为沿着图11 (A)中的线11C-11C截取的剖视图。用于实现本专利技术的最佳方式在下文中，将参照各图详细地描述本专利技术的实施例。彼此共有的部件用相同的参考标号表不。图1 (A)、图1 (B)以及图2至图4中所示的隔膜阀IOa具有第一壳体11以及附接至第一壳体11的第二壳体12。在壳体11和12在其邻接表面处彼此邻接的状态中，通过用螺钉件紧固壳体11和12，由壳体11和12构成阀套13。具有流路14a的第一管道14附接至第一壳体11，而具有流路15a的第二管道15附接至第二壳体12。在流路14a和15本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隔膜阀，在所述隔膜阀中，具有隔膜的阀体组装在阀套中，并且所述隔膜阀执行开启和关闭操作，以在第一流路和第二流路连通的状态与阻止第一流路和第二流路连通的状态之间切换，所述隔膜阀包括：中空阀体，所述中空阀体设置成能在所述阀套中在轴向方向上往复地移动，并且所述中空阀体形成有将所述第一流路和所述第二流路彼此连通的连通流路；第一隔膜，所述第一隔膜设置于所述中空阀体的一个端部；第二隔膜，所述第二隔膜设置于所述中空阀体的另一个端部并经由所述中空阀体与所述第一隔膜联动；阀座块，设置于所述阀套中，所述阀座块具有阀座部，所述中空阀体与所述阀座部抵接；第一锥形突起，设置于所述阀座块，所述第一锥形突起突出到所述连通流路中；以及第二锥形突起，设置于所述阀座块，所述第二锥形突起突出到所述第一流路中。

【技术特征摘要】
2009.08.19 JP 2009-1898921.一种隔膜阀，在所述隔膜阀中，具有隔膜的阀体组装在阀套中，并且所述隔膜阀执行开启和关闭操作，以在第一流路和第二流路连通的状态与阻止第一流路和第二流路连通的状态之间切换，所述隔膜阀包括: 中空阀体，所述中空阀体设置成能在所述阀套中在轴向方向上往复地移动，并且所述中空阀体形成有将所述第一流路和所述第二流路彼此连通的连通流路； 第一隔膜，所述第一隔膜设置于所述中空阀体的一个端部； 第二隔膜，所述第二隔膜设置于所述中空阀体的另一个端部并经由所述中空阀体与所述第一隔膜联动； 阀座块，设置于所述阀套中，所述阀座块具有阀座部，所述中空阀体与所述阀座部抵接； 第一锥形突起，设置于所述阀座块，所述第一锥形突起突出到所述连通流路中；以及 第二锥形突起，设置于所述阀座块，所述第二锥形突起突出到所述第一流路中。2.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，所述中空阀体以及所述第一隔膜和所述第二隔膜共同构成隔膜单元，并且 所述阀套具有与所述中空阀体接合的往复件、以及能够在所述轴向方向上执行往复运动的驱动装置。3.根据权利要求2所述的隔膜阀，其中，所述中空阀体设置有偏压件，所述偏压件在朝着所述阀座部的方向上施加偏压力，当由所述第一流路中的流体施加给所述第一隔膜的开启方向推力大于关闭方向推力时，所述中空阀体与所述阀座部分离以开启所述连通流路，其中所述关闭方向推...

【专利技术属性】
技术研发人员：金井良二，
申请(专利权)人：株式会社小金井，
类型：发明
国别省市：