【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及驱动多个泵部件以连续地喷出液体的液体供给装置。
技术介绍
1、为了在液晶显示基板的表面涂敷光致抗蚀液等液体而使用液体供给装置。液体供给装置根据组装的部件分为活塞类、波纹管类以及管膜类等。活塞类是具有在缸室中往复运动的活塞，通过活塞使由缸室和活塞划分出的泵室膨胀收缩的类型。波纹管类是具有收容于泵块内并伸缩的波纹管，通过波纹管使由泵块和波纹管划分出的泵室膨胀收缩的类型。管膜类是具有在内侧形成有泵室的管膜，通过向外侧的驱动室供排间接介质而使泵室膨胀收缩的类型。
2、在专利文献1中记载了活塞类和管膜类的液体供给装置。为了连续地喷出液体，液体供给装置具有多个泵室。通过一个电动马达经由凸轮部件对使各个泵室膨胀收缩的多个杆进行驱动。通过凸轮部件使各个泵的喷出定时错开，能够连续地喷出一定量的液体。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1:日本专利第5956920号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术问题
2、在液体供给装置中，通过将监视电动马达的输出轴的旋转的编码器安装于电动马达的外壳，能够检测泵的故障。如果利用编码器检测输出轴的旋转从而进行装置的故障检测，则在电动马达以预定的转速旋转但是凸轮部件没有以设定转速旋转的情况下，不能够进行故障检测。而且，编码器如果包含来自编码器的信号处理电路，则存在成本昂贵的问题。
3、本专利技术的目的是提供一种能够通过简单的机构检测凸轮部件是否正在可靠地旋转的液体供
4、用于解决技术问题的方案
5、液体供给装置具有：泵单元，设置有使各个泵室膨胀收缩的多个泵部件；机壳，组装有多个驱动杆，多个所述驱动杆在不同的定时驱动多个所述泵部件；驱动辊，设置于所述驱动杆，相对于所述驱动杆的往复运动方向以横向的旋转中心轴为中心旋转；凸轮部件，在端面设置有供所述驱动辊接触的凸轮面，所述凸轮部件通过旋转驱动源以与所述驱动杆的往复运动方向平行的旋转中心轴为中心被旋转驱动；磁铁，设置于所述凸轮部件的外周部；以及磁传感器，设置于所述机壳，感应所述磁铁的磁力以输出旋转信号。
6、专利技术效果
7、通过设置于机壳的磁传感器检测设置于凸轮部件的外周部的磁铁的磁力，从而检测凸轮部件的旋转，因此能够通过低成本的简单的机构可靠地检测因马达故障导致的凸轮部件的旋转停止、从马达向凸轮部件传递旋转的不良等。通过利用磁铁检测凸轮部件的旋转，能够提高液体供给装置的耐久性。
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1.一种液体供给装置，具有：
2.根据权利要求1所述的液体供给装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的液体供给装置，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液体供给装置，其中，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的液体供给装置，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的液体供给装置，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种液体供给装置，具有：
2.根据权利要求1所述的液体供给装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的液体供给装置，其中，
4.根据权利要求1...
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