一种单晶片型压电驱动振子制造技术

技术编号:9583549 阅读:89 留言:0更新日期:2014-01-16 12:06
一种单晶片型压电驱动振子,包括压电体(1)、中间的粘接层(2)、垫片(3),其特征在于:垫片(3)由透明高分子材料和透明无机非金属材料在内的透明材料组成,其材质不同于压电体(1),压电体(1)、垫片(3)之间通过采用紫外曝光固化的粘接层(2)固定连接在一起。本实用新型专利技术具有性能稳定可靠,寿命更长,制作更简单的特点。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种单晶片型压电驱动振子,包括压电体(1)、中间的粘接层(2)、垫片(3),其特征在于:垫片(3)由透明高分子材料和透明无机非金属材料在内的透明材料组成,其材质不同于压电体(1),压电体(1)、垫片(3)之间通过采用紫外曝光固化的粘接层(2)固定连接在一起。本技术具有性能稳定可靠,寿命更长,制作更简单的特点。【专利说明】一种单晶片型压电驱动振子
本专利技术属于工业控制、执行器等领域,特别涉及压电泵和压电阀体的一种压电驱动振子的构造。
技术介绍
随着电子技术的发展,采用压电技术形成的逆压电效应,形成的开关阀体或气体液体输送功能,作为智能控制的核心控制元件使用。压电泵是多采用简支梁压电驱动振子,利用压电晶片的逆压电效应,驱动整个压电驱动振子的弯张振动变形来改变压电驱动振子与壳体之间形成容积室的体积,实现气体液体连续负压吸入和加压排出。而压电阀多采用悬臂梁压电驱动振子,在压电晶片逆压电效应的作用下,驱动整个压电驱动振子的自由端运动,从而实现开关阀体的功能。一般情况下单晶片型压电驱动振子的垫片材料采用黄铜片、铍青铜片、不锈钢片、或有机高分子材料等,而上述材料是不透明体。压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶片型压电驱动振子,包括压电体(1)、中间的粘接层(2)、垫片(3),其特征在于:垫片(3)是由不同于压电体(1)材质的透明高分子材料或透明无机非金属材料组成的,其厚度为0.1?5.0mm,而压电体(1)、垫片(3)之间通过采用紫外曝光固化的粘接层(2)固定连接在一起。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王素贞
申请(专利权)人:重庆中镭科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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