【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公布了一种自倾斜微机电系统微镜，包括微镜边框、镜体和驱动臂，镜体通过驱动臂与微镜边框连接，由其驱动偏转倾斜，其特征在于：所述驱动臂在无源初始状态下使镜体处于自倾斜状态。，其特征在于：所述驱动臂为数种热膨胀系数不同的材料叠放而成，在高于室温的工艺制作温度下制作成平坦结构，冷却到室温释放后驱动臂向热膨胀率高的一方收缩。本专利技术结构初始状态就为自倾斜一定角度，便于光路的对准和安装，另外无需特殊的工艺，就能够使微镜达到自倾斜结构，并且在驱动的过程中能够保持中心的固定，同时可以根据设计版图及工艺自由控制其倾斜角度。【专利说明】本专利技术为申请日:2012-2-24，申请号:2012100432792 一种自倾斜微机电系统微镜及其制作方法”的分案申请。
本专利技术属于微机电系统(MEMS)领域,涉及一种自倾斜微机电系统微镜结构的设计及其制作。
技术介绍
微型化，高性能，低成本，大批量是当今器件制造的追求目标。微机电系统技术此时应运而生，被广大设备制造商广泛应用。使用微机电系统技术制造的器件主要可分成两大类，其一就是单纯微型化传统器件，如微型光学...
【技术保护点】
一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，其特征在于：所述驱动臂为数种热膨胀系数不同的材料叠放而成，在高于室温的工艺制作温度下成平坦结构，冷却到室温释放后驱动臂向热膨胀率高的一方收缩。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周亮，陈巧，谢会开，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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