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本发明公布了一种自倾斜微机电系统微镜，包括微镜边框、镜体和驱动臂，镜体通过驱动臂与微镜边框连接，由其驱动偏转倾斜，其特征在于：所述驱动臂在无源初始状态下使镜体处于自倾斜状态。一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，其特征在于：所述驱动臂为数种热...
该专利属于无锡微奥科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡微奥科技有限公司授权不得商用。

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