【技术实现步骤摘要】
一种多线切割机
本专利技术属于一种将硅单晶锭切割加工成硅片的多线切割机,尤其涉及一种DS265型多线切割机。
技术介绍
现有DS265型硅单晶锭多线切割机结构,包括机壳,以及设置在机壳内的 切割室、排线装置和传动装置等。切割室的上方设有工件台,工件台下方设置 导轮、固定轴承、活动轴承,导轮分为主导轮、从导轮,切割线从主导轮的内 侧进线,环绕从导轮后从主导轮的外侧出线,形成一网状切割面。在工件台与 网状切割面之间的切割室内壁上设有沙浆喷嘴。作业时,工件安装在与工件台 连接的工件夹具上,工件夹具可携带着工件相对网状切割面升降,沙浆喷嘴喷 出切割液,均匀布在网状切割面上,切割液包裹切割线对工件即硅单晶锭进行 切割。切割后,切割液下落到置放在切割室底部的浆液箱内,通过沙浆泵沙浆 液循环使用。现有DS265多线切割机尽管在切割室的底部浆液箱内设有过滤网, 但是,由于该过滤网与切割工件相距一定高度,从切割面掉下的破碎硅片,受 浆液冲击、机体碰撞会进一步破碎,更细小的破碎硅片会穿越过滤网再次进入 工作循环、流动使用,从而存在过滤网过滤不净、破碎硅片进入工作循环影响 硅片产品质量 ...
【技术保护点】
一种多线切割机,包括机壳,机壳内设有切割室(7),切割室(7)左侧设有排线装置,切割室(7)的上方设置工件台,工件台下方设有导轮、固定轴承、活动轴承,导轮分为主导轮(2)、从导轮(4),切割线(5)从主导轮(2)的内侧进线,环绕从导轮(4)后从主导轮(2)的外侧出线,形成一网状切割面(6),其特征是:在所述网状切割面(6)的正下方设置了一活动式过滤网(1)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陆昌忠,
申请(专利权)人:浙江华友电子有限公司,
类型:发明
国别省市:33[中国|浙江]
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