【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板搬运装置，包括：基座和用于承托基板的至少两根机械手指，每一根机械手指与所述基座固定连接；其特征在于，所述基板搬运装置还包括：检测设备，用于检测所述基板的位置信息；控制装置，信号连接所述检测设备，根据所述基板的位置信息及存储的基板目标位置输出移动控制信号；位置调节装置，所述位置调节装置将基板传送至目标位置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：温召虎，范晓帅，蔺聪，赵海生，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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