【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统,该气路系统包括管路接口(1)、进气管路(2)、一级分支管路(4)、二级分支管路(6)和均流管路(7),所述管路接口(1)连接在进气管路(2)的进气端,所述的一级分支管路(4)为一根管路,进气管路(2)的出气端与一级分支管路(4)位于中部的管段相连通,所述的二级分支管路(6)为两根管路,两根二级分支管路(6)并排设置,一级分支管路(4)位于两端的两个出气端分别与两根二级分支管路(6)位于中部的管段相连通,两根二级分支管路(6)的出气端均与所述的均流管路(7)相连通,所述均流管路(7)上均匀开设有多个均流气孔,其特征在于:所述的均流气孔为螺丝孔(9),每一个螺丝孔(9)内均安装一颗具有上下贯通的气道的中空螺丝(10),气体从管路接口(1)进入,最后经中空螺丝(10)的气道后吹扫出来。
【技术特征摘要】
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