【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可快速更换匀气方式的真空腔室,其是一个包括有腔筒、上盖(20)和下盖密封连接构成的腔体,在所述上盖(20)上设有进气喷嘴(10),所述进气喷嘴(10)连通一个在其下方的第一腔体构成第一布气室(160),所述第一布气室(160)的外壁与所述真空腔体的内壁之间构成第二布气室(170),在第一布气室(160)的腔体壁上设置布气孔连通所述第一布气室和第二布气室;在第二布气室的腔体壁上设置出气口,其上连接管路,在该管路上设置真空泵;其特征是:构成所述第一布气室(160)的所述第一腔体与所述腔体之间构成可拆连接结构,所述腔体上设有若干连接结构用于与不同大小规格的所述第一布气室上的连接结构连接,构成所述的可拆连接结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨义勇,刘伟峰,程嘉,季林红,肖志杰,
申请(专利权)人:中国地质大学北京,
类型:发明
国别省市:
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