本发明专利技术公开了一种分离式喷淋头装置。该分离式喷淋头装置包括一个气体分配部和一个冷却部，该气体分配部包括多个通气管；该冷却部为桶状，包括一个底部和一个侧壁；该气体分配部收容于该侧壁内，并与该冷却部配合形成一个封闭空间；该侧壁包括一个用于向该封闭空间输入吹扫气体的吹扫通道；该底部包括多个通气孔，每一通气管对应连接至一个通气孔。本发明专利技术的分离式喷淋头装置不易产生故障。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种分离式喷淋头装置。该分离式喷淋头装置包括一个气体分配部和一个冷却部，该气体分配部包括多个通气管；该冷却部为桶状，包括一个底部和一个侧壁；该气体分配部收容于该侧壁内，并与该冷却部配合形成一个封闭空间；该侧壁包括一个用于向该封闭空间输入吹扫气体的吹扫通道；该底部包括多个通气孔，每一通气管对应连接至一个通气孔。本专利技术的分离式喷淋头装置不易产生故障。【专利说明】分离式喷淋头装置
本专利技术涉及一种制造装备的喷淋装置，尤其涉及一种分离式喷淋头装置。
技术介绍
MOCVD (Metal-organic Chemical Vapor Deposition,金属有机化合物化学气相沉积)设备是现有技术中用于制造芯片等高精密器件的重要装备。MOCVD设备的制造难度较大，尤其是其喷淋头。现有技术中，为了降低MOCVD设备喷淋头的制造难度，设计了一种分离式的喷淋头装置。该分离式的喷淋头装置包括一个用于分配气体的组件和一个用于冷却的组件。请参阅图1至图3。图1是现有技术中分离式的喷淋头装置的气体分配部的剖视图，图2是现有技术中分离式的喷淋头装置的冷却部的剖视图，图3是图1所示气体分配部和图2所示冷却部焊接之后的剖视图。该分离式的喷淋头装置I包括一个气体分配部11和一个冷却部12。该气体分配部11和该冷却部12通常为圆饼状，具有两个圆形的底面和一个环形的侧面。该气体分配部11内具有两个层叠设置的圆盘形状的空腔，其中，一个空腔为第一气体分配腔111，另外一个空腔为第二气体分配腔112。该第一气体分配腔111和该第二气体分配腔112均通过多个出气通孔113延伸至该气体分配部11的同一个表面。定义该通过多个出气通孔113连通到该第一气体分配腔111和该第二气体分配腔112的表面为出气表面。该冷却部12也为圆饼状，包括一个冷却腔121和多个通气通孔122。该多个通气通孔122与该多个出气通孔113——对应设置。该冷却部12和该气体分配部11组装时，将该多个出气通孔113和该多个 通气通孔122 对应,该出气表面贴合该冷却部12后，将该冷却部12和该气体分配部11焊接，使得每个出气通孔113和一个通气通孔122配合形成一个通气的通道。然而，由于焊接工艺的问题，现有技术中的分离式的喷淋头装置I的气体分配部11和冷却部12在焊接过程中容易产生缝隙。这就导致气体分配部11的出气通孔113排出的反应气体容易进入到该缝隙之中，并在在该缝隙中反应形成沉积物。这种情况将使得使用该分离式的喷淋头装置I容易产生故障。
技术实现思路
鉴于现有技术中的分离式喷淋头装置容易产生故障的技术问题，有必要提供一种不易产生故障的分离式喷淋头装置。本专利技术提供的技术方案是:一种分离式喷淋头装置，包括一个气体分配部和一个冷却部。该气体分配部包括多个通气管；该冷却部为桶状，包括一个底部和一个侧壁；该气体分配部收容于该侧壁内，并与该冷却部配合形成一个封闭空间；该侧壁包括一个用于向该封闭空间输入吹扫气体的吹扫通道；该底部包括多个通气孔，每一通气管对应连接至一个通气孔。在本专利技术的分离式喷淋头装置的一个进一步优化的【具体实施方式】中，该通气管的外径尺寸小于该通气孔的内径尺寸，每一通气管对应插设在一个通气孔内。在本专利技术的分离式喷淋头装置的一个进一步优化的【具体实施方式】中，该通气管的外径尺寸大于该通气孔的内径尺寸，该通气管与该底部抵触，每一通气管覆盖一个通气孔。在本专利技术的分离式喷淋头装置的一个进一步优化的【具体实施方式】中，该通气管包括第一通气管和第二通气管，该气体分配部包括一个第一气体分配腔和一个第二气体分配腔，该第一气体分配腔与该第一通气管连通，该第二气体分配腔与该第二通气管连通。在本专利技术的分离式喷淋头装置的一个进一步优化的【具体实施方式】中，该冷却部为圆桶形状，该气体分配部为圆饼形状，该底部为圆饼形状，该侧壁为圆环形状。在本专利技术的分离式喷淋头装置的一个进一步优化的【具体实施方式】中，该气体分配部包括一个圆环形状的侧边和设置在该侧边上的至少一个定位突起；该侧壁包括内壁和外壁，该内壁设置有与该定位突起配合使用的定位滑槽；该定位突起的外轮廓与该定位滑槽的内轮廓吻合。在本专利技术的分离式喷淋头装置的一个进一步优化的【具体实施方式】中，该底部内设置有一个冷却腔，该冷却腔为圆饼状；该侧壁内设置有一个冷却通道，该冷却通道与该冷却腔连接。一种分离式喷淋头装置，包括一个冷却模块、一个与该冷却模块相对设置的气体分配模块。该分离式喷淋头装置还包括一个吹扫模块；该气体分配模块通过多个通气管延伸至该冷却模块内；该吹扫模块位用于向该冷却模块和该气体分配模块之间输出吹扫气体，防止反应气体流入冷却模块和该气体分配模块之间的区域。在本专利技术的分离式喷淋.头装置的一个进一步优化的【具体实施方式】中，该冷却模块包括一个具有圆饼状冷却腔的圆饼状的冷却主体和一个贯穿该冷却主体两个底面的多个冷却通孔；该气体分配模块包括一个具有两个层叠设置的圆饼状的气体分配腔的分配主体；该通气管设置在该分配主体中，并延伸插入至该冷却通孔，与该冷却通孔一一对应。在本专利技术的分离式喷淋头装置的一个进一步优化的【具体实施方式】中，该吹扫模块包括一个环形壁以及设置在环形壁中的用于输入吹扫气体的吹扫通道；该环形壁具有两个圆形端口，该分配主体位于一个圆形端口，该冷却主体位于另一个圆形端口 ；该分配主体、该冷却主体和该环形壁配合形成一个封闭空间。相对于现有技术，本专利技术至少具有以下有益效果:由于本专利技术分离式喷淋头装置的冷却部为桶状，其气体分配部收容于该桶状冷却部的侧壁内，并与该冷却部配合形成一个封闭空间；该侧壁包括一个用于向该封闭空间输入吹扫气体的吹扫通道；因此本专利技术的分离式喷淋头装置能够通过使用吹扫气体将该气体分配部泄漏在该气体分配部和该冷却部之间的用于沉积的气体吹走，使得该用于沉积的气体不会在该冷却部和该气体分配部之间沉积，从而使得本专利技术的分离式喷淋头装置不容易产生故障。同时，相对于现有技术，由于本专利技术分离式喷淋头装置通过使用吹扫气体将的用于沉积的气体吹走，因此本专利技术的分离式喷淋头装置的气体分配部和冷却部无需焊接在一起，使得本专利技术的分离式喷淋头装置组装简单，节省了组装时间和成本。【专利附图】【附图说明】图1是现有技术中分离式的喷淋头装置的气体分配部的剖视图；图2是现有技术中分离式的喷淋头装置的冷却部的剖视图；图3是图1所示气体分配部和图2所示冷却部焊接之后的剖视图；图4是本专利技术的分离式喷淋头装置的俯视图；图5是图4所示分离式喷淋头装置沿A-A线的剖视图；图6是图4所示分离式喷淋头装置的气体分配部的俯视图；图7是图6所示气体分配部沿B-B线的剖视图；图8是图4所示分离式喷淋头装置的冷却部的俯视图；图9是图8所示冷却部沿C-C线 的剖视图。【具体实施方式】请参阅图4至图9，图4是本专利技术的分离式喷淋头装置的俯视图，图5是图4所示分离式喷淋头装置沿A-A线的剖视图，图6是图4所示分离式喷淋头装置的气体分配部的俯视图，图7是图6所示气体分配部沿B-B线的剖视图，图8是图4所示分离式喷淋头装置的冷却部的俯视图，图9是图8所示冷却部沿C-C线的剖视图。本专利技术分离式喷淋头装置2包括一个气体分配部21和一个冷却部22。该气体分配部21本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种分离式喷淋头装置，包括一个气体分配部和一个冷却部，其特征在于：该气体分配部包括多个通气管；该冷却部为桶状，包括一个底部和一个侧壁；该气体分配部收容于该侧壁内，并与该冷却部配合形成一个封闭空间；该侧壁包括一个用于向该封闭空间输入吹扫气体的吹扫通道；该底部包括多个通气孔，每一通气管对应连接至一个通气孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谭华强，
申请(专利权)人：光达光电设备科技嘉兴有限公司，
类型：发明
国别省市：
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