真空室机械臂制造技术

技术编号:9442071 阅读:88 留言:0更新日期:2013-12-12 20:44
本实用新型专利技术提供一种真空室机械臂,包括设于本体上的两个末端执行器;所述两个末端执行器的根部外侧设有两个向外延伸的支撑架。在真空室机械臂前后增加了支撑点,使玻璃基板在机械臂上的弯曲变形量减少,使玻璃基板在真空室设备内运行时,减少玻璃基板遇热弯曲变形所造成破片和刮伤的风险。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种真空室机械臂,具有设于本体上的两个末端执行器;其特征在于,所述两个末端执行器的根部外侧设有两个向外延伸的支撑架。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:江昌翰钟尚骅黄德伦
申请(专利权)人:上海和辉光电有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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