【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空室机械臂,具有设于本体上的两个末端执行器;其特征在于,所述两个末端执行器的根部外侧设有两个向外延伸的支撑架。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:江昌翰,钟尚骅,黄德伦,
申请(专利权)人:上海和辉光电有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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