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本实用新型提供一种真空室机械臂，包括设于本体上的两个末端执行器；所述两个末端执行器的根部外侧设有两个向外延伸的支撑架。在真空室机械臂前后增加了支撑点，使玻璃基板在机械臂上的弯曲变形量减少，使玻璃基板在真空室设备内运行时，减少玻璃基板遇热弯曲...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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