【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种自动化系统，应用于不具有通信系统的半导体设备上，其特征在于，所述自动化系统包括：光学字符识别装置、放置有晶圆盒的标准机械界面装置和存储有标准参数信息的设备自动控制模块；所述光学字符识别装置获取所述半导体设备上的生产参数信息，并将所述生产参数信息传输至所述设备自动控制模块；所述设备自动控制模块将接收到的生产参数信息与所述标准参数信息进行比对操作，并将该比对操作的比对信息发送至所述标准机械界面装置；所述标准机械界面装置根据接收到的比对信息将所述晶圆盒传送至所述半导体设备上或者保持所述晶圆盒的初始状态。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：年四军，周杨，
申请(专利权)人：中航重庆微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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