触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板技术

本发明专利技术涉及触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板，根据本发明专利技术的制造方法制造的触摸面板用垫板，可以抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象，并且能够进行用于提高透明导电层特性的退火处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术涉及触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板，根据本专利技术的制造方法制造的触摸面板用垫板，可以抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象，并且能够进行用于提高透明导电层特性的退火处理。【专利说明】触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板
本专利技术涉及触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板。特别是，涉及可以抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象，并且能够进行用于提高触摸面板用垫板的透明导电层特性的退火处理的触摸面板用垫板的制造方法及触摸面板用垫板。
技术介绍
作为影像显示装置等输入装置而广泛利用的触摸面板是利用在玻璃或绝缘树脂等绝缘层上涂敷有ITO等透明导电层的叠层垫板来制造。以往的触摸面板用垫板上涂布有用于与外部电连接的银浆。但是，像这样利用银浆形成配线电极的情况下，难以使配线电极的厚度和宽度变小，从而具有在面板表面产生段差或不能提高元件的集成度的问题。为了改善上述的问题，使用在上述垫板的透明导电层上涂敷金属层来代替银浆而形成配线电极的方法。图1显示作为配线电极而形成有金属层的触摸面板用垫板的制作工序的一个例子。如图1所示，首先在绝缘层110上形成透明导电层120，在其上部形成金属层130。然后，根据光刻(photolithography)等工序,形成由透明导电层120形成的透明电极图案121和由金属层130形成的配线电极图案131。此时,利用第一个掩模140同时去除不相当于透明电极图案121和配线电极图案131部分的金属层130和透明导电层120(I次蚀刻)，然后利用第二个掩模141，在金属层130去除除了配线电极图案131的部分(2次蚀刻)。通过这样的工序来制造绝缘层110上形成有透明电极案121和配线电极图案131的触摸面板用垫板。由上述的方法来形成垫板的情况下，由于金属层130不透明，因此在制造工序中通过肉眼检查容易确认透明电极图案121的不良(短路或者断路)。但是I次蚀刻后，掩模140的剥离过程中残留有机污染物质等的情况下，在2次蚀刻中在蚀刻速度上产生差异，从而金属层130的一部份不会被蚀刻而残留，由此可以引起制品外观不良。特别是，I次蚀刻后为了防止金属的氧化而进行抗氧化剂处理，若抗氧化剂在2次蚀刻中不会被去除或者去除得慢时，容易产生金属层130的残渣现象。这样的残渣现象使在触摸面板的窗口区域(要显示画面的透明的部分)残留不是透明材料的金属，从而导致触摸面板的不良。改善上述图1制作工序中问题的另外不同的制作工序的一个例子显示在图2中。图2显示的方法不同于图1显示的方法，在I次蚀刻中仅去除相当于面板的窗口区域的部分的金属层130，然后在2次蚀刻中只留下金属层130的配线电极图案131和透明导电层120的透明电极图案121部分，而各自去除金属层130和透明导电层120。通过这样的工序，制作在绝缘层Iio上形成有透明电极图案121和配线电极图案131的垫板。在图2显示的触摸面板用垫板的制造方法中，首先蚀刻相当于面板的窗口区域的金属层130，从而不产生如同图1显示的制造方法的由抗氧化剂或有机物引起的残渣问题，因此可以实施均匀的蚀刻。即使在蚀刻金属层130和透明导电层120的2次蚀刻中产生由抗氧化剂或残留有机物引起的问题，由于与触摸面板的窗口区域没有关联，因此不成大的问题。但是就上述图1和图2中显示的以往制造方法而言几乎必须使用抗氧化剂，因此不能完全解决由抗氧化剂引起的残渣问题。并且，为了提高垫板的透明导电层的特性而进行退火处理的情况下，由于金属层的热氧化，有可能增加金属层的表面电阻值或者产生图案断开的现象。因此，由上述以往制造方法形成的垫板存在不能进行退火处理的问题。并且,上述以往制造方法中由派射(sputtering)方式形成金属层的情况下，由于作为透明导电层的ITO是金属氧化物，因此即使在溅射之前进行表面活性化处理也有产生针孔(pin hole)的问题。
技术实现思路
技术问题为了解决这样的问题，本专利技术将提供抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象的触摸面板用垫板的制造方法作为其目的。并且，将提供能够进行用于提高触摸面板用垫板的透明导电层的特性的退火处理的触摸面板用垫板的制造方法作为其目的。解决问题的方案为了达到上述目的，根据本专利技术的触摸面板用垫板的制造方法，包含如下步骤:在透明绝缘体上形成金属层的步骤；在上述金属层中仅选择性地去除相当于触摸面板的窗口区域(要显示画面的透明的部分)的部分的步骤；在上述金属层的上面和选择性地去除上述金属层后的上述透明绝缘体的上面形成透明导电层的步骤；以及选择性地去除上述金属层和上述透明导电层，从而形成由上述金属层而成的配线电极图案和由上述透明导电层而成的透明电极图案。根据本专利技术的触摸面板用垫板的制造方法，包含如下步骤:在透明绝缘体上形成金属层的步骤；在上述金属层中仅选择性地去除相当于触摸面板的窗口区域(要显示画面的透明的部分)部分的步骤；在选择性地去除上述金属层后的上述透明绝缘体的上面形成透明导电层的步骤；以及选择性地去除上述金属层和上述透明导电层，从而形成由上述金属层而成的配线电极图案和由上述透明导电层而成的透明电极图案。根据本专利技术的触摸面板用垫板，包含:透明绝缘层；在上述透明绝缘层上在相当于触摸面板的窗口区域的部分由透明导电层形成的透明电极图案；在上述透明绝缘层上的除了上述触摸面板的窗口区域的边缘区域由金属层形成的配线电极图案；以及在上述配线电极图案上形成的透明导电层。根据本专利技术的触摸面板用垫板，包含，透明绝缘层；在上述透明绝缘层上在相当于触摸面板的窗口区域的部分由透明导电层形成的透明电极图案；以及在上述透明绝缘层上的除了上述触摸面板的窗口区域的边缘区域由金属层形成的配线电极图案。并且，根据本专利技术的触摸面板用垫板的制造方法可以进一步包含在形成上述透明导电层之前，在上述透明绝缘层和上述金属层涂敷底漆(primer)的步骤。上述底漆，优选为具有导电性的金属物质。并且，在选择性地去除上述金属层和透明导电层而形成上述配线电极图案和上述透明电极图案的步骤中，优选用一种蚀刻液同时蚀刻上述金属层和上述透明导电层。优选，上述透明绝缘层为PET (聚对苯二甲酸乙二醇酯)，上述金属层为铜或者铝，上述透明导电层为ITO膜。专利技术效果本专利技术的触摸面板用垫板的制造方法及通过其制造的触摸面板用垫板显示出如下有益效果。本专利技术中透明导电层被涂布于金属层上而起金属层的抗氧化剂的作用，从而有优异的抗氧化效果。并且，金属层形成在作为透明导电层的ITO膜上的以往的制造方法中，由于金属的热氧化问题而不能进行退火处理，但根据本专利技术的制造方法，通过金属层上形成的ITO膜可以防止在沉积工序中由于高温而金属被氧化的情况，从而可以进行退火处理。并且通过退火处理，有垫板的ITO膜的特性，即电阻值减小的特性以及可以提高透过性的效果。并且在形成透明导电层之前，通过使用与金属层和透明绝缘层的附着力优异的金属作为底漆，可以防止在溅射工序中产生针孔。从而，具有可以减少由于针孔而在触摸面板产生诸如配线短路等不良情况的效果。并且，在形成由金属层而成的配线电极图案和由透明导电层而成的透明电极图案的工序(后面叙述的“2次蚀刻”)中可以用一种蚀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴凖永，郑州铉，文炯泰，卢守牮，
申请(专利权)人：株式会社TMAY，朴凖永，
类型：
国别省市：