一种使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法，所述的定位装置包含若干定位杆，每个定位杆的长度大于基座和静电吸盘的厚度之和；在拆卸或安装静电吸盘时，利用定位杆做引导，可平稳且准确定位静电吸盘的位置，使其与基座保持对齐，因此能避免因静电吸盘位置移动而导致碰撞并损伤其他例如顶针机构或者温度传感器等半导体部件，有效减少半导体刻蚀设备的维护成本和时间，有利于提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种使用定位装置安装静电吸盘的方法，其特征在于，所述的定位装置包含若干定位杆（2），每个所述定位杆（2）的长度大于基座（1）和静电吸盘（3）的厚度之和；所述安装静电吸盘的方法具体包含以下步骤：步骤1、将各个定位杆（2）一一对应插入基座（1）上的固定螺孔中，且每个定位杆（2）的上端均露出基座（1）的表面；步骤2、将各个定位杆（2）的顶端分别对准并插入静电吸盘（3）上的固定螺孔中，在定位杆（2）的引导下将静电吸盘（3）对齐放置到基座（1）上，且每个定位杆（2）的上端均露出静电吸盘（3）的表面；步骤3、依次将所有定位杆（2）由静电吸盘（3）和基座（1）的固定螺孔中取出；步骤4、将锁紧螺丝分别拧入静电吸盘（3）和基座（1）的固定螺孔中，完成静电吸盘（3）固定安装在基座（1）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭东，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：