一种用于真空室腔体的靶材更换机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种应用于真空镀膜设备技术领域的靶材更换机构，所述更换机构包括机架（1），阴极（2）与机架（1）活动连接，阴极（2）底部与机架（1）之间通过多个伸缩缸Ⅰ（3）连接，伸缩缸Ⅰ（3）与控制部件（4）连接。本实用新型专利技术的更换机构，结构简单合理，安装操作方便，在一定的空间范围内可以准确实现阴极的翻转及复原动作，从而便于更换阴极上的靶材，与现有的阴极翻转机构相比，解决了其操作不便，耗时比较久的问题，提高了生产效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于真空室腔体的靶材更换机构，其特征在于：所述更换机构包括机架（1），阴极（2）与机架（1）活动连接，阴极（2）底部与机架（1）之间通过多个伸缩缸Ⅰ（3）连接，伸缩缸Ⅰ（3）与控制部件（4）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：薛辉，昌江，
申请(专利权)人：芜湖真空科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：