一种用于前向衍射光光强分布测量的对中装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于前向衍射光光强分布测量的对中装置及方法，其特征在于所述对中装置包括光电探测器阵列、精密三维位移平台、x向调整电路和y向调整电路。光电探测器阵列上有用于对中的两个四分之一圆环硅光电探测器和两个二分之一圆环硅光电探测器对称位于光电探测器阵列接收光强变化最快位置的附近，两个二分之一圆环硅光电探测器输出信号给y向调整电路，两个四分之一圆环硅光电探测器输出信号给x向调整电路；光电探测器阵列固定在精密三维位移平台上；通过三维位移平台在x轴方向和y轴方向上精密调节光电探测器阵列的位置，使x向调整电路的输出和y向调整电路的输出归零来完成光电探测器阵列的对中。本发明专利技术结构简单,易于安装和应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于前向衍射光光强分布测量的对中装置及方法，其特征在于所述对中装置包括光电探测器阵列、精密三维位移平台、x向和y向调整电路；所述对中装置采用了根据夫朗和费衍射理论设计的多个同心圆环硅光电探测器阵列作为光电转换器件，同心圆环的圆心处开有一小孔；在光电探测器阵列上还设计有用于对中的两个关于坐标系y轴对称的四分之一圆环硅光电探测器及两个关于坐标系x轴对称的二分之一圆环硅光电探测器，所述两个二分之一圆环硅光电探测器的两个输出信号给y向调整电路，所述两个四分之一圆环硅光电探测器的两个输出信号给x向调整电路；所述精密三维位移平台可以分别沿坐标系x轴、y轴和z轴做精密移动，所述光电探测器阵列固定在所述精...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐立军，曹章，魏天啸，蔡小舒，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：