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本发明涉及一种用于前向衍射光光强分布测量的对中装置及方法，其特征在于所述对中装置包括光电探测器阵列、精密三维位移平台、x向调整电路和y向调整电路。光电探测器阵列上有用于对中的两个四分之一圆环硅光电探测器和两个二分之一圆环硅光电探测器对称位于...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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