铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法技术

一种铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法，制备步骤有：1、对高纯金属进行溶解成透明硝酸铝、硝酸锌及硝酸镓溶液；2、配料：将三种透明溶液按比例分装容器；3、化学沉淀：采用均相共沉淀法将三种透明溶液按比例和规定工序，制得铝镓共掺杂氧化锌纳米粉末；4、清洗：将混和沉淀物经去离子水冲洗并充分搅伴，直到无其他离子为止；5、煅烧：将纳米粉末放入高温炉进行煅烧，制得铝镓共掺杂氧化锌纳米粉末；6、造粒：将铝镓共掺杂纳米锌氧化物粉末加入粘合剂并干燥，制得铝镓共掺杂纳米氧化锌成型前粉未；7、成型：将铝镓共掺杂氧化锌成型前粉末压制成初胚；8、烧结：将初胚放入高温炉里，进行常压烧结或气压烧结。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：(1)对高纯金属进行溶解：分别用不同的无机酸溶解高纯金属铝、高纯金属锌、高纯金属镓成透明溶液；其中所述的无机酸溶液是指使用硝酸溶解的高纯金属铝、高纯金属锌、高纯金属镓成透明硝酸铝、硝酸锌及硝酸镓溶液；(2)进行配料：将上述三种透明溶液按予定比例分装容器；(3)化学沉淀：采用均相共沉淀法将上述三种透明溶液按比例和规定工序，制得铝镓共掺氧化锌纳米粉末,即先将上述硝酸锌盐水透明溶液中加入预定量的尿素或氨水和去离子水,加温至90℃?100℃并不断搅拌,这时溶液PH值逐渐上升，再滴入硝酸铝及硝酸镓透明溶液,...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张维佳，刘嘉，宋登元，吴然嵩，张雷，马强，马晓波，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，英利集团有限公司，
类型：发明
国别省市：