【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:(1)对高纯金属进行溶解:分别用不同的无机酸溶解高纯金属铝、高纯金属锌、高纯金属镓成透明溶液;其中所述的无机酸溶液是指使用硝酸溶解的高纯金属铝、高纯金属锌、高纯金属镓成透明硝酸铝、硝酸锌及硝酸镓溶液;(2)进行配料:将上述三种透明溶液按予定比例分装容器;(3)化学沉淀:采用均相共沉淀法将上述三种透明溶液按比例和规定工序,制得铝镓共掺氧化锌纳米粉末,即先将上述硝酸锌盐水透明溶液中加入预定量的尿素或氨水和去离子水,加温至90℃?100℃并不断搅拌,这时溶液PH值逐渐上升,再滴入硝酸铝及硝酸镓透明溶液,直到该溶液变成白色并化学反应完成为止便停止加热,并自然沉积;(4)清洗:将Zn(OH)2、Al(OH)3和Ga(OH)3的混和沉淀物经去离子水冲洗并用磁力搅伴器进行充分搅伴,直到溶液中无其他离子为止,即沉淀洗涤十次后各种杂质离子的浓度已达到可忽略的程度;为了提高沉淀速度以便清冼,溶液中加入少量硫酸氨即分散剂,若加量适当则使颗粒形貌呈现球状而有利于烧结提高靶密度;若加量过少或过量则都会使颗粒显片状或 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张维佳,刘嘉,宋登元,吴然嵩,张雷,马强,马晓波,
申请(专利权)人:北京航空航天大学,英利集团有限公司,
类型:发明
国别省市:
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