下载铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法的技术资料

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一种铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法,制备步骤有:1、对高纯金属进行溶解成透明硝酸铝、硝酸锌及硝酸镓溶液;2、配料:将三种透明溶液按比例分装容器;3、化学沉淀:采用均相共沉淀法将三种透明溶液按比例和规定工序,制得...
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