一种应用于微细电铸中的阴极单元制造技术

本实用新型专利技术公开了一种应用于微细电铸中的阴极单元，包括水平设置阴极模板（6）以及夹具体（1），阴极模板（6）边缘通过密封块（14）封闭，夹具体（1）包括上部设有开口的桶状固定槽（16），固定槽（16）内部设有与阴极模板（6）接触的加热装置。在阴极模板（6）上连接加热装置，对沉积面的电解液加热，提高其温度，使得沉积面与其他区域电解液之间产出温度差，这种方式能够强化电解液的对流，大大提高传质效果，而且阴极模板（6）呈水平设置，接触面积较大，能够提高传热效果。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种应用于微细电铸中的阴极单元，包括水平设置阴极模板以及夹具体，其特征在于，所述阴极模板边缘通过密封块封闭，所述夹具体包括上部设有开口的桶状固定槽，所述固定槽内部设有与所述阴极模板接触的加热装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范祥荣，
申请(专利权)人：苏州市金翔钛设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：