一种微细电铸装置制造方法及图纸

技术编号：7268504 阅读：182 留言：0更新日期：2012-04-15 12:42

本发明专利技术公开了一种微细电铸装置，包括电铸槽、阳极单元、阴极单元、箱体、进液口及出液口，电铸槽设于箱体内上部，电铸槽为圆筒状，电铸槽上部设有中空圆柱状进液轴，进液轴与动力装置连接，进液轴上端为进液口；阳极单元包括阳极和辅助阳极；所述阴极单元包括承片台，承片台上设有芯模，芯模与辅助阳极对应设置；所述阴极单元下端连接有阴极往复运动单元。本发明专利技术的阴极往复运动单元能带动承片台振荡，提高沉积面附近的传质效果；辅助阳极下表面与芯模上表面在微细电铸进行阶段紧密贴合，最大限度保证微细电铸过程中沉积面的电流密度均匀分布；辅助阳极可随进液轴旋转，确保理想的传质空间，能获得厚度均匀的微电铸件。