一种阴极多自由度运动微电铸装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种阴极多自由度运动微电铸装置，在装置底座(1)上设有安装平台(11)，电铸槽(3)设在装置底座(1)上，安装平台(11)上设有阴极水平往复平移机构，阴极水平往复平移机构上设有阴极垂直升降机构，阴极垂直升降机构上设有阴极定轴旋转机构，阴极装夹单元(13)安装在阴极定轴旋转机构上，阳极装夹单元(21)和阴极装夹单元(13)竖直置于电铸槽(3)内呈彼此面对。本发明专利技术的阴极运动系统可实现电铸过程中阴极在电铸液中水平往复移动、定轴转动及两种运动的耦合，并引入了随动式屏蔽挡板，能有效改善铸层厚度均匀性、消除电铸过程中析出气体对铸件质量的影响。同时运动控制系统可控制运动参数，最大限度提高电铸的效率，获得致密、均匀铸层。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种阴极多自由度运动微电铸装置，包括装置底座(1)、电铸槽(3)、循环过滤单元(12)、阳极装夹单元(21)和阴极装夹单元(13)，其特征在于：在所述的装置底座(1)上设有安装平台(11)，所述的电铸槽(3)设在所述的装置底座(1)上，所述的安装平台(11)上设有阴极水平往复平移机构，所述的阴极水平往复平移机构上设有阴极垂直升降机构，所述的阴极垂直升降机构上设有阴极定轴旋转机构，所述的阴极装夹单元(13)安装在所述的阴极定轴旋转机构上，所述的阳极装夹单元(21)和所述的阴极装夹单元(13)竖直置于所述的电铸槽(3)内呈彼此面对。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋炳炎，吕辉，马鑫，刘佳，徐腾飞，黎醒，
申请(专利权)人：中南大学，
类型：发明
国别省市：