一种微型宽范围内波长可调滤波器制造技术

技术编号:9346721 阅读:107 留言:0更新日期:2013-11-13 23:09
本实用新型专利技术涉及一种微型宽范围内波长可调滤波器,其结构包括有平行设置的第一基片和第二基片,在第一基片和第二基片之间夹设有起支撑作用的侧过渡层,该侧过渡层由一种热膨胀系数为α1的材料制成,在第一基片和第二基片之间还设有中心过渡层,该中心过渡层由热膨胀系数为α2的材料制成,中心过渡层的厚度小于侧过渡层的厚度,中心过渡层的一个面紧贴地设置于第一基片的内侧面,中心过渡层上相对的另一面与第二基片的内侧面之间存在可变化宽度的空隙,该空隙作为对光束反射或透射的谐振腔。本实用新型专利技术的滤波器能实现中心波长在较宽的范围内调节,以此为思路来选择不同的材料制作,适用于不同的使用环境,并且结构简单、制作方便。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型宽范围内波长可调滤波器,其结构包括有平行设置的第一基片和第二基片,在第一基片和第二基片之间具有谐振腔,其特征在于,在所述第一基片和第二基片之间夹设有起支撑作用的侧过渡层,该侧过渡层由一种热膨胀系数为α1的材料制成,在第一基片和第二基片之间还设有中心过渡层,该中心过渡层由一种热膨胀系数为α2的材料制成,且所述中心过渡层的厚度小于所述侧过渡层的厚度,所述中心过渡层的一个面紧贴地设置于所述第一基片的内侧面,中心过渡层上相对的另一个面与第二基片的内侧面之间存在空隙,该空隙为对光束反射或透射的所述谐振腔,该谐振腔的腔长随加于热膨胀系数为α1的材料和热膨胀系数为α2的材料的温度变化而可控变化。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵强郭磊
申请(专利权)人:上海浦芮斯光电科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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