一种可调带阻滤波器制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种可调带阻滤波器，包括金属层、衬底、谐振器单元、低压外置电极和高阻偏置线；两条第一缝隙线将金属层分割成信号线和两个分别位于信号线两侧的地线；可调带阻滤波器关于信号线的横向中心线对称；谐振器单元包括：设置在同一侧地线上多个缝隙环、多个缝隙连接线和多个集成开关单元；多个缝隙环沿第一缝隙线延伸方向间隔分布且依次通过缝隙连接线连通；集成开关单元包括第二缝隙线和MEMS开关；MEMS开关包括桥墩、悬臂梁、接触体、高压外置电极；谐振器单元的多个集成开关单元沿第一缝隙线延伸方向间隔设置。本发明专利技术实施例能够实现带阻滤波器的中心频率可调，以及可作为直通传输线使用的功能，并能提高中心频率调节的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
201610462927

【技术保护点】
一种可调带阻滤波器，其特征在于，包括金属层、衬底、谐振器单元、低压外置电极和高阻偏置线；所述金属层覆盖在所述衬底上，所述金属层上设有两条第一缝隙线，所述两条第一缝隙线将所述金属层分割成信号线和两个分别位于所述信号线两侧的地线；所述可调带阻滤波器关于所述信号线的横向中心线对称；所述谐振器单元包括：设置在同一侧地线上多个缝隙环、多个缝隙连接线和多个集成开关单元；多个所述缝隙环沿所述第一缝隙线延伸方向间隔分布且依次通过缝隙连接线连通；集成开关单元包括第二缝隙线和MEMS开关，所述第二缝隙线与靠近的第一缝隙线围成孤岛，第二缝隙线与任一缝隙连接线连通；所述MEMS开关包括桥墩、悬臂梁、接触体、高压外置电极；桥墩的第一端和接触体分别固定在悬臂梁同一侧的两端，桥墩的第二端固定在地线上，沿第一缝隙线延伸方向，悬臂梁横跨所述第二缝隙线和孤岛；高压外置电极通过高阻偏置线与所述孤岛一一对应连接，低压外置电极通过高阻偏置线与所述地线连接；所述谐振器单元的多个集成开关单元沿第一缝隙线延伸方向间隔设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓中亮，魏浩，甘俊，郭旭兵，
申请(专利权)人：北京邮电大学，
类型：发明
国别省市：北京;11