用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置制造方法及图纸

用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，涉及光学元件检测技术领域。本发明专利技术是为了解决大型固体激光装置中光学元件内部的位相缺陷难于检测的问题。本发明专利技术所述的采用线阵CCD暗场成像，获得暗场背景下的位相缺陷的亮斑，使得位相缺陷直接可见。同时本发明专利技术所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置对图像的分辨率达到6千万像素。通过线平移台带动光学元件平移进行快速扫描，可以在30至60秒内，扫描完成400*400mm口径的大型光学元件，且检测口径范围可达到5*5至400*400mm。本发明专利技术所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置适用于大型固体激光装置中光学元件内部的位相缺陷检测。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，其特征在于，它包括：线光源（1）、线平移台（2）、成像镜头（3）和线阵CCD（4）；将该装置的主光轴所在直线定义为三维直角坐标系的z轴，线光源（1）、线平移台（2）、成像镜头（3）和线阵CCD（4）沿z轴依次排布，线平移台（2）用于固定被测光学元件，线光源（1）平行且偏离三维直角坐标系的y轴，线平移台（2）垂直于z轴，且该线平移台（2）能够沿三维直角坐标系的x轴方向平移，成像镜头（3）固定在主光轴上、且该成像镜头（3）的光轴与主光轴重合，线阵CCD（4）的光敏面所在平面垂直于主光轴；线光源（1）发出的光入射至固定在线平移台（2）上的被测光学元件，经该被测光学元件透射的光入射至成像镜头（3），该成像镜头（3）将入射光聚焦到线阵CCD（4）的光敏面上成像。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈凤东，甘雨，刘炳国，庄志涛，刘国栋，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：