基板吸附装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种基板吸附装置，用于吸附一基板，该基板吸附包括一本体、至少一承载臂以及至少一可替换单元。该承载臂固定于该本体上。该可替换单元固定于该承载臂上且包括至少一吸取单元。本实用新型专利技术之基板吸附装置能根据基板的放置方式而藉由更换可替换单元达到快速更换不同吸取单元之目的，进而节省时间与降低成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基板吸附装置，其特征在于，包括：一本体；至少一承载臂，固定于该本体上；以及至少一可替换单元，固定于该承载臂上且包括至少一吸取单兀o

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄馨谊，
申请(专利权)人：盟立自动化股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：